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国家标准硅单晶中碳氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法讨论稿编制说明工作简况项目背景和立项意义半导体材料尤其是集成电路工业是电子信息产业的基础和核心是国民经济现代化与信息化建设的先导与支柱产业半导体硅单晶或多晶材料则是半导体工业的最重要的主体功能材料至今全球信息产业使用的硅材料仍占半导体材料总量的以上而且国际集成电路芯片及各类半导体器件的以上也是用硅片制造的半导体产业的发展是建立在晶体硅材料的研究基础上一般要求晶体的质量越高越好氧和碳是硅晶体中两种最主要的轻元素杂质无论是对单晶硅材料还是太阳能电
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国家标准《硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换
红外光谱法》（讨论稿）编制说明
工作简况
项目背景和立项意义
半导体材料（尤其是集成电路工业）是电子信息产业的基础和核心，是国民经济现代化与信息化建设的先导与支柱产业。半导体硅（单晶或多晶）材料则是半导体工业的最重要的主体功能材料，至今全球信息产业使用的硅材料仍占半导体材料总量的95％以上，而且国际集成电路（IC）芯片及各类半导体器件的95％以上也是用硅片制造的。半导体产业的发展是建立在晶体硅材料的研究基础上，一般要求晶体的质量越高越好。氧和碳是硅晶体中两种最主要的轻元素杂质，无论是对单晶硅材料还
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