电子显微分析01.pptVIP

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第四章 电子显微分析;电子显微分析是利用聚焦电子束与试样物质相互作用产生的各种物理信号分析试样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成。包括:;4.2 电子光学基础;相似点;电磁透镜;静电透镜;磁透镜;磁透镜;磁极头;有极靴;磁透镜与光学透镜的比较;分辨本领与像差;4.3 电子与固体物质的相互作用;相互作用的物理过程;电子散射;原子对电子的散射;核外电子对入射电子的散射 ;内层电子激发后的弛豫过程;背散射电子;背散射电子IB;二次电子IS;二次电子与背散射电子;产额随原子序数的变化;吸收电子IA;透射电子IT;综合以上,如果使样品接地保持中性,那么入射电子激发固体样品产生的四种电子信号强度与入射电子强度之间有如下关系: Io≈IB+IS+IA+IT iB:背散射电子信号强度 IS:二次电子信号强度 iA:吸收电子信号强度 iT:透射电子信号强度;所有这些发射信号的强度??与固体材料的结构,成分,表面状态等性质有关,同时,受入射电子能量和入射角度的影响。 如果我们控制一下入射电子的能量与入射角度的话,我们就可以借助这些信号的变化来进行材料结构,成分,表面状态的分析。;相互作用体积;影响因素

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