湿化学工艺LaxSr1xTiO3薄膜的制备及性能表征.pdfVIP

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2015-08-18 发布于重庆
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湿化学工艺LaxSr1xTiO3薄膜的制备及性能表征.pdf

22 常亮亮等：湿化学工艺LazS“，TiO，薄膜的制备及性能表征绝缘材料2010，43(5) ：日，业化学工艺La 3薄膜的 xSr1．xTiO 制备及性能表征常亮亮，殷明志，杨亮亮 (西北工业大学理学院，西安710129) 摘要：采用湿化学工艺在硅衬底上成功地制备了结构致密、均匀且无龟裂的La，SrhTiO，(LSTO)薄膜。金属硝酸盐(或氯化物)的冰醋酸溶液经回流再加入乙酸酐除去无机阴离子和结晶水，而形成的金属醋酸盐与适当 K到室温之构。用XRD、SEM对薄膜结构和形貌表征。室温下LSTO薄膜的电阻率为54／dl·cm，而在160 半导体化。关键词：SrTi03施主掺杂；LaxSrkTi03薄膜；半导化中图分类号：TM215．3；TM206文献标志码：A 文章编号：1009—9239(2010)05—0022—05 FabricationandCharacterizationofLa．xSr 1．工Ti03 Films Process bySol-gel CHANG Ming-zhi，YANGLiang—liang Liang．1iang，YIN (SchoolofScience，Northwest 710129，China) polytechniqueUniversity，Xi’aM La，Srl-xTi03(LSTO)films were Abstract：Homogeneous，crack．free fabricated routeandconditionswere successfullybysol—gelprocessing．Theoptimum systematically aceticacidsolutionwasreactedwith form investigated．Sr(OAc)2glacial C扭5(OH)3，toSr(0Ac)2 was AcActo (C扭5(OH)3)：；Ti(OBu)‘moleculewith formTi(OAc)2(AcAc)2； partiallyexchanged whileLa(N03)3‘6H20needs intoLa(AcAc)2(0Ac)2 in beingchanged byligand exchangeglacial aceticacidunder mediumconditions．Allthe were and anhydrous species partiallyhydrolyzed or toformLST0