工件台移动直线性对掩模移动曝光的影响.pdfVIP

维普资讯 第34卷第 11期 光电工程 V01．34．No．11 2007年 11月 Opto—ElectronicEngineering Nov,2007 文章编号：1003—501X(2007)11-0055—06 工件台移动直线性对掩模移动曝光的影响 佟军民1,2,3，胡 松 ，董小春 ，严 伟 ，余国彬 (1．中国科学院光电技术研究所，四川 成都 610209；2．中国科学院研究生院，北京 100039； 3．河南许昌职业技术学院，河南 许 昌461000) 摘要：针对工件台制造和装配过程中产生的移动直线性误差，建立了掩模沿曲线移动时曝光量与曲线和移动距离 之间关系的数学模型。通过对实测工件台移动直线性误差规律的分析，确定了近似的移动曲线函数。利用MATLAB 进行数值模拟的方法，分别模拟了沿理想直线移动、不同幅值和不同移动距离的曲线移动时，所获得元件的面形， 并分析了面形误差的影响因素和 “竹节”误差产生的原因。最后得出结论：通过控制移动距离为一倍的掩模图形重 复周期，并减小工件台移动直线性误差，对控制元件的面形精度和 “竹节”误差最为有利。 关键词：掩模移动曝光技术；曲线移动；“竹节”形误差；面形精度 中图分类号：TN206 文献标志~i-5：A Effectofstagemovinglinearerror0nexposureinmaskmovingtechnique TONG Jun．min， ，Hu Song，DONG Xiao．chun ，YAN w ，Yu Guo．bin (1．TheInstituteofOpticsandElectronics，theChineseAcademyofSciences，Chengdu6l0209，China, 2．GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences，Beoing100039，China； 3．XuchangVocationalCollege，Xuchang461000，China) Abstract：Inview ofthemovinglinearerrorcausedbythemanufacturingandassemblingofstageinthemaskmoving exposuretechnique，amahtematicalmodelofrelationshipsamongexposureflux，movingcurvena dmovingdistancewas builtwhenmaskmovedalongthecurve．Accordingtotherealtestresultoflinearerrorofstage，approximatefunctionof stagemovingcurvewasobtained．ByuseofnumericsimulationwithMatlab，thesimulationofsurfacetopographyof exposedelementswascarriedoutbasedonthefollowing situation：maskmovingalongidealbeeline，alongcurveof differentamplitudeanddifferentmovingdistance．Thefactorsofsurfaceshapeaccuracyand b‘amboo’shapevariation errorwereanalyzed．Resultsshow thatthesurfaceshapeerrorsofelementCallbecontrolledbyreducingthest