天津大学《精密测量基础》课件第七章 长度量测量.pptVIP

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LaserMirrorPSDErrorPIDControlRetractingAFM的工作模式-轻敲模式⑦LaserMirrorPSDErrorPIDControlExtendingLaserMirrorPSDBacktoSetpointScanningAFM的工作模式-轻敲模式⑦LaserMirrorPSDBacktoSetpointScanningLaserMirrorPSDErrorPIDControlExtendingAFM的工作模式-轻敲模式⑦AFM的控制系统框图

偏转量/振幅PID反馈电路高压放大电路Z向压电陶瓷驱动器探针光电探测器设定值+-被测样品形貌数据从何而来？⑦

多属性测量AFM扫描图像⑦2009年，IBM苏黎世实验室的科学家利用AFM成功获得的世界上首次拍摄下分子内部所有原子的图像单分子：我们的认识还很不够⑦本章结束！*机械原理：1631年发明了游标细分原理，18世纪中叶，开始应用螺纹放大原理进行长度测量。***************微纳制造精密测量纳米材料尺寸及其相关特性的测量纳米材料呈现出来的新特性和新功能也主要得益于表面效应和尺度效应，因此对纳米材料的测量也是先确定其尺寸，其次再确定化学组成、材料力学等相关特性纳米颗粒的尺寸及形状的测量已发展出了多种测量方法和仪器系统，但是依旧不成熟，不同的测量方法具有很大的差异性，缺乏统一的计量基标准，难以满足制造对溯源性测量的要求不同原理的仪器测量标称直径为20±5nm的银纳米球结果⑦微纳制造精密测量纳米薄膜的测量纳米薄膜作为连接微观结构与宏观功能的关键结构，不仅是微纳图形化制造的基础结构，而且也是众多薄膜功能器件的基本功能结构偏振光谱类测试技术得到了更为广泛的研究和应用，但是测量模型还需要继续完善，以解决多参数耦合问题椭圆偏振术反射光谱术差分反射光谱术反射差分光谱术⑦微纳制造精密测量微纳结构几何量测量几何量测量是微纳米测量的最基本、最本质内容：①研究各种纳米几何结构参数的准确测量，②研究纳米、亚纳米尺度的溯源准确性计量型原子力显微镜与原子台阶测量紫外线宽仪与干涉显微镜计量型扫描电子显微镜如何实现纳米尺度几何量测量的溯源是关键问题⑦微纳制造精密测量微纳制造过程的精密测量微纳制造技术门类非常繁多，各种加工机理和方法具有极大的差异性，微纳制造过程测量技术没有形成一个体系，且还少有技术能做到实时测量，基本还处于离线或原位测量阶段超精密加工过程原位测量基于X射线三维成像的微纳三维结构测量⑦微纳制造精密测量微纳尺度力学测量微纳尺度力学特性与宏观力学特性有着显著的差异，对纳米材料和微纳米器件的性能和可靠性具有至关重要的影响纳米压痕测量纳米尺度力学特性KRISSPTBNISTNPL纳米压入测试已成为应用最广泛的微纳尺度力学性能测试方法之一，但是模型依然待于完善国内外相关机构建立的微小力值标定装置，已开展多次国际比对微小力值的标定和溯源依然是该领域的热点和难点问题⑦纳米技术There’splentyofroomatthebottom1959RICHARDP.FEYNMAN

Iwouldliketodescribeafield,inwhichlittlehasbeendone,butinwhichanenormousamountcanbedoneinprinciple.Writesmall/Readingsmall/Microcomputer/Molecularmachine…⑦Supposeyouwereblind,youmaydetectanareapointbypointwithatactilestick.That’snearlytheprincipleofSPM,whichisapowerfultooltodetectnano-world!ScanningProbeMicroscope-Principle⑦GerdBinnigandHeinrichRohrersharedtheNobelPrizein1986fortheir