纳米技术 拉曼光谱法测量二硫化钼薄片的层数.pdfVIP

目次

1范围5

2规范性引用文件5

3术语和定义5

4样品准备8

5基于剪切模和呼吸模的峰位测量二硫化钼薄片层数的拉曼光谱法（A法）9

1

6基于E模和A模的峰位差测量二硫化钼薄片层数的拉曼光谱法（B法）11

2g1g

7基于SiO/Si衬底的硅拉曼模峰高测量二硫化钼薄片层数的拉曼光谱法（C法）13

2

8测试报告15

附录A(资料性)拉曼光谱法测量二硫化钼薄片层数的各种方法概要一览表17

附录B(资料性)典型拉曼峰的光谱参数示意图18

附录C(资料性)基于剪切模和呼吸模的峰位测量二硫化钼薄片层数的拉曼光谱法（A法）

的表征实例19

1

附录D(资料性)基于E模和A模的峰位差测量二硫化钼薄片层数的拉曼光谱法（B法）

2g1g

的表征实例21

附录E(资料性)基于SiO/Si衬底的硅拉曼模峰高测量二硫化钼薄片层数的拉曼光谱法（C法）

2

的表征实例23

附录F(资料性)基于SiO/Si衬底的硅拉曼模峰高测量MoS薄片层数的拉曼光谱法（C法）

22

的I(Si)/I(Si)理论计算结果(532nm激光)25

2D0

附录G(资料性)测试报告范例26

纳米技术拉曼光谱法测量二硫化钼薄片的层数

1范围

本文件规定了使用拉曼光谱法测量二硫化钼薄片的层数的方法。

本文件适用于利用机械剥离法制备的、横向尺寸不小于2µm的2H堆垛的二硫化钼薄片的层数测

量。化学气相沉积（CVD:chemicalvapordeposition）法制备的2H堆垛的二硫化钼薄片可参照本方法执

行。

注1：测量二硫化钼薄片的层数时，可单独或者综合几种方法联合测量并相互验证。

注2：第5章给出了基于剪切模和呼吸模的峰位测量二硫化钼薄片层数的拉曼光谱法（A法）。第6章给出了基于模和模

的峰位差测量二硫化钼薄片层数的拉曼光谱法（B法）。第7章给出了基于SiO/Si衬底的硅拉曼模峰高测量二硫化钼薄片层数的拉曼

2

光谱法（C法）。附录A给出了拉曼光谱法测量二硫化钼薄片层数的各种方法概要一览表。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用

于本文件。

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