GB/T 25915.3-2010洁净室及相关受控环境　第3部分：检测方法.pdf

ICS 13.040.35 C 70 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T 25915.3—2010/ISO 14644-3:2005 洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法 Cleanrooms and associated controlled environments— Part 3:Test methods (ISO 14644-3:2005,IDT) 2011-01-14发布 2011-05-01 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 GB/T 25915.3—2010/ISO 14644-3:2005 目 次 前言 I 引言 Ⅱ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 3.1 一般术语 1 3.2 空气悬浮粒子测量 2 3.3 空气过滤器和过滤系统 3 3.4 气流 4 3.5 静电测量 5 3.6 测量器具和测量条件 5 3.7 占用状态 6 4 检测规程 7 4.1 洁净室检测 7 4.2 原理 8 5 检测报告 9 附录 A (资料性附录) 检测项目的选择和实施顺序 10 附录 B (资料性附录) 检测方法 13 附录 C (资料性附录) 检测仪器 40 参考文献 53 I GB/T 25915.3—2010/ISO 14644-3:2005 前 言 GB/T 25915《洁净室及相关受控环境》分为八个部分： ——第1部分：空气洁净度等级； ——第2部分：证实持续符合GB/T25915.1 的检测与监测技术要求； ——第3部分：检测方法； ——第4部分：设计、建造、启动； ——第5部分：运行； ——第6部分：词汇； ——第7部分：隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境); ——第8部分：空气分子污染分级。 本部分是GB/T 25915 的第3部分。 本部分按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。 本部分使用翻译法等同采用ISO 14644-3:2005《洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法》。 本部分由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)提出并归口。 本部分由苏州尚科洁净技术有限公司、上海科信检测科技有限公司、北京市产品质量监督检验所负 责起草，苏州英德尔室内空气技术有限公司、北京控制工程研究所、苏州克林络姆空调系统工程有限公 司、苏州工业园区宏基洁净科技有限公司、苏州高科净化有限责任公司、净微(苏州)科技有限公司、莱特 浩斯仪器(苏州)有限公司、深圳金开利环境科技有限公司参加起草。 本部分主要起草人：吴俊民、涂光备、丁卫敏、张利群、蔡杰、陈思源、张训彪、严勤丰、边炳秀、郭良、 徐伟。 Ⅱ GB/T 25915.3—2010/ISO 14644-3:2005 引 言 洁净室及相关受控环境将空气污染物控制在合适的水平，以便完成对污染敏感的工作。航天、微电 子、制药、医疗器械、食品、医疗等行业的产品和工艺受益于对空气污染的控制。 GB/T 25915的本部分给出了对 GB/T 25915其他各部分所介绍并规定的洁净室特征进行检测的 方法。 注：本部分并未包括所有洁净室参数的检测规程。涉及特定产品和特定工艺的洁净室和洁净区及相关参数的检测 规程和所用仪器，在SAC/TC319 编制的其他文件中讨论[例如，对活物质的控制与检测规程(GB/T25916), 洁 净室功能性检测(GB/T 25915.4—2010)],隔离装置检测(GB/T 25915.7—2010)。此外，洁净室的检测活动中 也可以考虑采用其他适用标准。 GB/T 25915的本部分的陈述中参照了美国材料与试验协会(ASTM), 欧洲标准化委员会(CEN), 德国标准化协会(DIN), 美国环境科学技术学会(IEST), 日本空气洁净协会(JACA), 日本工业标准 (JIS)和国际半导体制造协会(SEMI)等团体编制的标准。 1 GB/T 25915.3—2010/ISO 14644-3:2005 洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法 警告——GB/T 25915的本部分的应用可能涉及有害材料、作业和设备。GB/T 25915 的本部分未 提及与应用有关的所有安全性问题。使用前，GB/T25915 本部分的用户有责任制定适当的安全和卫生 措施，并遵守各种强制性规定。 1 范围 GB/T 25915的本部分规定了洁净室和洁净区空气悬浮粒子洁净度等级的检测方