氮化钼薄膜超级电容器电极的磁控溅射制备及其微观结构调控.docVIP

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氮化钼薄膜超级电容器电极的磁控溅射制备及其微观结构调控 摘 要 过渡金属氮化物是一类极具发展潜力的超级电容器电极材料。其中,氮化钼具有良好的导电性、优异的化学稳定性和超高的电化学循环稳定性,是目前超级电容器电极材料的研发热点。采用物理气相沉积技术(PVD)制备的氮化钼薄膜,具有成分结构可调控、膜基附着力好、绿色环保等优点,在柔性超级电容器储能器件上有良好应用前景。但是超电电极通常需要大的离子可接触比表面积,而PVD氮化物薄膜结构较致密且表面光滑,限制了其储能性能的提高。因此,本论文采用PVD技术沉积氮化钼薄膜,通过调节工艺参数以及结合倾斜沉积的方法调控涂层导电性,提高氮

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