带有清洁功能的机械手及管式PECVD设备.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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带有清洁功能的机械手及管式PECVD设备.pdf

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本实用新型公开了一种带有清洁功能的机械手及管式PECVD设备，其中所涉及带有清洁功能的机械手包括承重臂及清洁机构，所述清洁机构具有固定设置于所述承重臂下侧且内部形成有空腔的本体部，所述本体部设置有与所述空腔连通以对所述空腔抽气或供气的气管连接口以及供所述空腔连通至外界的清洁口；基于本实用新型所提供带有清洁功能的机械手，在管式PECVD设备的具体应用场景中，通过对清洁机构的气管连接口进行抽气动作，可以将炉管内的碎片等异物吸附至本体部的空腔内，进而可在炉管外部进行碎片等异物的排出动作，如此可有效避免

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212601940 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202020770091.8 B25J 11/00 (2006.01)