ITO玻璃修订版本.docxVIP

PAGE PAGE # / 19. 第一章 第一章 LCD簡介 PAGE PAGE # / 19. 第二章1222TO玻璃 第二章 1 2 2 2 -1 I T。玻璃簡介 ? 2 I T。玻璃製造流程 -3 I T 0玻璃生產管理 第三章切割及裂片作業說明 3 ?1 製程簡介 3 ?2 治具規格說明 3 ?3 製程操作說明及製程條件設定 3 -4 機台故障排除停電處理程序 3 -5 品質自主檢查 3 -6 其它注意事項 第四章磨邊及倒角作業說明 4 - 1 製程簡介 4 - 2 治具規格說明 4 - 3 製程條件 4 - 4 機台操作及故障排除 4 - 5 品質自主檢查 4 - 6 其它注意事項 第五章清洗作業說明 5 - 1 製程簡介 5 - 2 洗淨配藥方法 5 - 3 製程條件 5 - 4 機台操作及故障排除 5 - 5 品質自主檢查 5 - 6 其它意事項 第八草光作業說明 第八草 光作業說明 2.1拋光玻璃作業流程簡介 2.2拋光原理 2.3拋光玻璃之規格 第七章機台簡介與製程條件設定 2.1拋光機台簡介 2.2製程條件設說明 第八章光五大控制因素 第八章 光五大控制因素 3.1 P.P的管理 3.2 Pad的管理 3.3 template 的管理 3.4研磨劑的管理 3.5振幅的管理 第九章機台操作與拋光作業注意事項 VI 4.1作業前之確認事項 4.2機台操作 4.3拋光作業注意事項 4.4破片處理程序 第十章硏磨劑測量及Pad修正 6.1研磨劑測量 6.2 Pad的修正 第十一章品質檢驗作業程序及標準 5.1抽檢作業 5.2品質檢驗作業 第一章前言 1.1 LCD簡介 LCD：液晶螢幕顯示器（Liquid Crystal Display） ? L C :液晶，遇電場會使液晶分子從平躺狀態旋轉成站立情況?使光線從無 法穿透變成可穿透，進而產生明暗對比的情形。 LCD依其扭轉的程度可分為：（1）TN型（2）HTN型（3） S T N型，目 前公司主要生產的為TN型及S TN型LCD。 L C D以圖型來區分可分為：（1）七段式（適用於計算機、電子錶等）（2）點 矩陣式（適用於電子字典、電腦等）。 L C D作動的原理為：組合兩片I T 0導電玻璃，之間灌入液晶，當導電玻 璃通電時，上下兩片圖形、線路有重疊部分就會產生電場，改變液晶分子方 向，即會穎示。 ?玻璃基板： 一般TN/S TN顯示器是使用鹼石灰玻璃作為基板，即俗稱的納玻璃。此 平板玻璃是採用浮法方法製成，所以又稱浮法玻璃。所謂的浮法製程（Floating Process）就是熔融的玻璃抽出後先經過錫爐?然後回溫至室溫，此種方式產出的 玻璃稱之為浮法玻璃。玻璃基板的一些特性，如表面凹凸、冷熱沖擊性、納離 子釋出量? ?等特性，對L C D產品品質或製程加工性都有重要影響。 PAGE PAGE # / 19*. ?玻璃基板規格： 厚度： —般為 1.1 nun、0.7mm、0.55mm、0.4mm 等等。 外形尺寸： 目前廠內比較常生產之尺寸為300*350、370*480。 表面的傷痕、氣泡及雜物： 有些矩陣圖形，布線最小圖形為5-lOuin，因此在璃基皮上的缺陷也應小 於最近圖形越來越細，有時50um以下的傷痕和雜物都成了問題。 玻璃表面的凹凸： 表面粗糙度： 在l-2um的範圍內多次重覆出的凹凸，其變化通常比人眼的分辨率 還小，這種微小的凹凸影響塗覆膜的特性、液晶取向和圖形援緣的 平整 表面波紋： 是週期在1mm以上的表面凹凸，通常有5-20mm的週期?這有可能 成為不均勻顯示的背景。 翹曲： 通常是在基板內出現1-2次的凹凸，翹曲過大的表面波紋在顯示製造 過程中的約是，在操作機台上真空吸附基板時不得產生模棚現象； 在有矩陣型時，在實施微細圖形的光刻工程中不得產生漏氣現象； 不得出現干涉條紋背景等不均勻顯示對於上述各項，各種液晶顯示 器所對應容估計值如下表： 有源矩陣 TN STN 表面粗糙度Ra 100-150A 2OO-3OOA 2OO-3OOA 平整度 0.2um/20mm 0.05um/20mm 波紋型 0.5um 0.3um 0.05um 翹曲度 100um 500uin 500um I TO I TO玻璃的應用： PAGE PAGE # / 19*. PAGE PAGE # / 19. 第二章 I TO玻璃 2-11 TO玻璃簡介 \\1 T O是Indium Tin Oxide三個字的縮寫，中文為氧化錮錫；ITO玻璃 是在清潔的絕緣素玻璃表面上，以真空鍍膜的方法依序鍍上S i 0 2層（二氧化 矽）及I T 0層（氧化錮錫）；S i 0 2膜乃作為阻擋層，因玻璃基板中的鹼性成分 會微