ZnO电阻片磨片工序的工艺创新[学习].pdfVIP

精品文档 ·可编辑版 ZnO 电阻片磨片工序的工艺创新 ——M76—350 双端面通过式自动磨片机 王崇新 沈锋 （上海电瓷厂200241 ） 『提要』 本文分析了ZnO 电阻片的磨片工序中对电阻片使用磨削工艺 比研磨工艺更合理有效。 M76—350 双端面通过式自动磨片机磨削电阻片的效率、成 本、电性能等综合指标都优于传统的研磨机。 并对适用于电阻片磨削加工的金刚石砂轮进行介绍。 『关键词』ZnO 电阻片 磨片 金刚石砂轮 磨片工序是ZnO 电阻片（以下简称阀片）制造工序中一个不可 忽视的环节。该工序主要作用是将烧成后的阀片上、下端面，磨削 平整并达到相应的厚度，端面的表面粗糙度能有利于喷铝工序的工 艺要求。 一、目前阀片磨片工序中的研磨设备使用情况 国内大多数阀片生产厂家进行磨片工序，都采用双面研磨机 （以下简称研磨机），作为加工设备。研磨机原先主要是半导体行业 用，硅锗片的精密研磨，使用时在上、下磨盘上涂抹少量的研磨膏 成品，使加工元件能获得较高的平行度和较高的表面粗糙度，是属 于精密研磨范畴的研磨设备。因研磨介质是研磨膏体，所以对研磨 1 / 14 精品文档 ·可编辑版 机的内外齿轮，及上、下磨盘的磨损很微小，如选用合适的研磨膏 体，该设备还可以对元件起到抛光作用。 但阀片制造行业，从使用研磨机研磨阀片的情况看，实在是精 机粗用了会导致研磨机的维修工作量增加，磨片的质量也因蹦边掉 角和侧面高阻层得不到保护而受到影响，磨片成本高，间隙式操作 不但效率低，而阀片厚度也不容易控制，就很容易形成阀片制造过 程中的瓶颈工序。造成原因有以下几条： 1．研磨阀片时，因不用精密的成品研磨膏，而是用80 目左右 的碳化硅研磨砂。将研磨砂和水搅拌混合一起灌入上、下磨盘间， 带砂液体无孔不入，流入内外齿轮和行星轮，时间长了还会经过主 轴转动进入主轴箱体内的蜗轮蜗杆。研磨砂在研磨阀片二个端面的 同时也间接研磨上、下磨盘、内外齿轮、行星轮和主转动轴箱内的 蜗轮、蜗杆，将这些机械零件变成了特别容易损坏的易损件，维修 工作量也就可想而知了。 2 、为增加研磨效率，在上、下磨盘上加工了纵横交错的很多沟 槽由于沟槽的顶角和阀片圆周角有周期性的碰撞，尤其开始时阀片 还不平整，更容易造成边角的蹦掉现象，严重影响外观质量。 3、为了使阀片能自转，由行星轮板带动，阀片侧面和行星轮板 内孔产生相对的滑动，使涂覆在阀片侧面上的高阻层磨损而影响性 能。因此，不得不要给每片阀片套上防护圈，研磨后又要卸掉，降 低了磨片效率。 4 、研磨阀片的厚度，靠时间多少来模拟估算的。因每次加装砂 2 / 14 精品文档 ·可编辑版 量不等，砂中含新砂量也不同，即使用等同的时间也很难磨出相同 厚度的阀片来，这样势必影响直流1mA 的电压。要想将直流1mA 电压值范围控制的窄些就更加困难了。 5 ．每台研磨机一年约用5000 公斤碳化硅研磨砂，重复利用率 很低，流入下水道污染环境，也容易堵塞下水道，加大了清除疏通 的工作量。 二、新型磨片机——M76—350 ZnO 阀片双端面通过式自动磨 片机（以下简称新型自动磨片机） 我们认为，研磨和磨削是两种不同加工工艺。 研磨：对工件去除极其微量的表面余量。使用不同粗细牌号的 研磨膏对工件研磨、抛光使表面获得较高的平行度和粗糙度。 磨削：对工件以去除较多表面余量为主要目的。类似于切削方 法，只是用砂轮作为刀具进行磨削，使工件去除较多