镀铝操作流程.doc

影响镀膜质量的因素 合理挂具·夹击 良好真空能力·稳定的工艺参数·补助镀铝材料的质量·注塑工件的质量·镀铝件存放时间·车间内环境· 镀铝工件长出现问题 黄件 镀铝时间过长，导致钨丝直接烤工件表面铝层，产生氧化发黄 崩点 钨丝表面残留铝过多，钨丝加热时滴落到托盘上产生崩溅 蒸发电流不稳，蒸发过快，放置铝过多，蒸发时滴落崩溅 钨丝使用时间过长，蒸发时断开产生崩溅 3．油污 扩散泵返油，工件表面有油或脱模剂，接触工件的物质或手上有油 漏镀 蒸发时间过短铝没有完全蒸发到工件表面，工件表面有杂质，灰，遮挡 放置铝过少或真空度过低 托铝 工件材质，真空度过低，保护层过薄，轰击时间短或过长，工件表面有油 水 脱模剂或其他物质 镀膜机操作 开控制电源，各循环水阀打开为各真空系统冷却，开维持泵给扩散泵预抽真空30分钟后为扩散泵加热，加热在1小时左右可以进行抽真空镀铝 工艺 工件车清理干净，放置钨丝铝，钼丝氟化镁，锡纸板两张，安装挂具,上镀铝工件，工件车放入室体内,关室体门，打开机械泵5—7秒后,打开预抽阀F2，打开复合真空计，真空计上有高真空和低真空,两个可视屏，低真空表显示8.0E 2时,打开罗茨真空泵L，低真空表显示4.0E 0时,关闭预抽阀F2,打开前置阀F3,打开高真空阀F1，当高真空表显示4.0E—2时候打开工件车转动电压调整在50V—70V之内,转动正常后,打开FK3阀开流量显示仪,关高真空挡板阀控制高真空表显示4.0E 0后打开轰击电源调整电压控制在800V—1200V之间进行离子清洗时间5分钟，关轰击电源，关转动电源，关FK3阀，关流量显示仪，开高真空挡板阀进行抽真空，高真空表显示2.0E—2后进行镀铝。 开转动电源,调整电压置150V—200V开蒸发1镀铝电源，调整电压2.5V---3V,观察室体内没个钨丝的铝片融化80﹪左右，调整电压,均匀平稳加到6V—7.5V后观察室体内铝片融化95﹪---100﹪后,关蒸发1镀铝，等钨丝完全不亮后,打开蒸发2镀氟化镁,电压调整在,2.5V—3V待室体内钼丝全部亮起后调整电压均匀平稳加到6V—7V后待钼丝内氟化镁融化3—4粒后关闭蒸发2电源，待室体内钼丝完全不亮后，关高真空阀F1，关前置阀F3，关罗茨真空泵L，关复合真空计，待罗茨真空泵停止后，打开FQ2室体内充气完毕后关闭转动电源，打开室体大门取出工件车，进行下一周期。 放置钨丝要平行螺丝紧固不可松动，(钨丝不平行加热后铝融化后项高点流淌导致崩溅或钨丝结晶无法使用。螺丝没有紧固影响蒸发电流不稳导致崩溅，或钨丝烧断)。放置钼丝要把开口处向上倾斜一点紧固，(倾斜是为了氟化镁容易放进钼丝内防止材料脱落导致托铝)。放置锡纸板要全新干净平整折边处无翘起，(使用后的锡纸会变色电击处氧化无光泽在使用会起不到离子轰击效果导致工件吸铝效果不好影响到托铝，有翘起锡纸板导致连电无法离子轰击)。安装挂具时要紧固好固定螺丝以免转动时挂具脱落影响镀铝。上件时手不要接触工件镀铝面，(以免镀铝后产生手印、手套上的油污﹑汗水产生发黄发黑工件就算没有这样的显现也会影响到实验托铝)，放置挂具上的工件要牢固以免脱落，影响镀铝或是划伤其他工件。 保护膜一氧化硅 2.0E—2镀铝后钨丝全部不亮后，开FK1阀，关高真空挡板阀，关高真空表(打手动)，调整手动真空针阀，控制在8.0E 0后 开轰击电源，调整电压控制在800V—1200V，轰击时间20分钟后，关轰击电源，关手动真空针阀，关FK1阀，打开高真空挡板阀，关转动电源，20分钟后，打开高真空表，高真空显示8.0E—3后,打开转动电源,调整电压150V—200V,打开FK2,打开手动真空调整针阀,调整高真空度1.5E—2打开蒸发2电源，控制电压在2.5—3V，打开流量显示仪，钨丝全部亮起后，控制电压电压在7—7.5V(调整电压同时要调整流量显示仪来控制真空度在2.0E—2和1.5E—2之间)氧化硅蒸发完后，关蒸发电源，关流量显示仪，关手动真空调整针阀，关FK2，关复合真空计，关F1，F3，罗茨泵，打开FQ2室体内充气，关转动电源。