第二章 电镜类型与特点简介PPT.pptVIP

;第一节 透射式电镜;第一节 透射式电子显微镜;一、常规透射电镜（TEM）;二、超高压透射电镜（UHVEM:ultra-high voltage electron microscope） HV500kv为常规及高压电镜,一般TEM：100~200KV HV500kv为超高压电镜，Hvmax=1MV（法），3MV，15MV（美），10MV（日）;日立超高压电镜H-3000（3MV）;第二节 扫描式电镜; 1、原理： 利用电子束轰击样品表面，引起二次电子 等信号的发射，主要利用SE并放大、传递SE所 携带的信息，按时间序列逐点成像，显像管上 成像 2、特点： ⑴ 图象立体感强、可观察一定厚度的样 ⑵ 样品制备简单，可观察较大的样 ⑶ 分辨率较高，30~40? ;2、特点： ⑷ 倍率连续可变，从4倍~~15万 ⑸ 可配附件，进行微区的定量、 定性分析 3、观察对象： 主要用于观察样品的表面形貌、 割裂面结构，管腔内表面的结构等 ;1、特点： ① 多种真空状态：高、低、超低真空 1Torr（乇）=1mmHg柱压力=1/760标准大气压=133.3Pa 粗真空：760~10乇 低真空：10~10-3乇 高真空：10-3~10-8乇 超高真空：10-8乇以下 多种真空条件下可得SEI像、BEI像，且? =4nm ② 样品室可充气体:水气、氮气 ③ 动态分析：样品温度从-185℃ ~1000℃ ④ 制样简单：样品无须镀膜、脱水、干燥等处理 真正的“环境”条件，可直接观察含水、含油样品;2、缺点： 造价太高 $30万 ，Philips（FEI）， 分辨率仍不很高 3、观察对象： 活体生物、真菌、细菌、人工培养细胞等 （含液体［水或油等］、以及不适合进行常规 固定、脱水、干燥等处理的样品） 如：ESEM最适宜观察培养基上人工培养 细胞的表面微观结构。 ;三、低压扫描电镜（LVSEM: low voltage）;四、场发射电子枪SEM; 优点： 装备有冰冻、冷热样品台，可把含水生物样品迅速冷冻并对冰冻样品进行观察，可以减少化学处理引起的人为变化，使观察样品更接近于自然状态。 若要观察内部结构，还可用冷刀把样品进行切开，加温使冰升华，并在其上喷镀一层金属再进行观察，所有这些过程都在SEM中不破坏真空的状态下进行。;六 扫描电－声电镜 SEAM;（二）扫描电－声显微镜的成像原理;(三) SEAM观察的对象： 可以显示样品表面或表面下不同层次的微观 热性质的差异，适宜检测有晶格结构或有分层 结构的金属、陶瓷、半导体材料、有机介质等 样品，进行生物样品表面和亚表面分析，进行 晶体界面分析和亚表面无损分析。;1. 超高真空的场发射式STEM;⑴兼顾SEM及TEM的特点、功能强大、但造价高 ⑵分辨率不如TEM高,高分辨型0.3~0.5nm;附件型 1~1.5nm ⑶在200KV以上且超高真空时，照射面积小，热损伤和辐 射损伤小、污染小，可以观察到铀和钍原子像 ⑷能过检测到扫描透射电子、透射电子和散射电子，并可 同时观察明场和暗场，可进行适当的处理和比较，获取 更多超微结构信息 ⑸ 可观察较厚样品(0.2~0.4μm)和低反差样品，图像的反差 和亮度易调节，切片可以不染色 ⑹显像方式：荧光板、显像管 ;第四节 分析类电镜;（1）分析TEM： 也称生物分析电镜（BATEM:biologic analysis ） TEM+EDS（or：WDS），分辨率高? =1.5 ? 、 分析性能好。目前很多100KV和 200KV TEM都 可以装上X射线检测附件，进行样品的元素分析。 （2）分析SEM： 在SEM上配备X射线能谱仪（或波谱仪）后，便可兼有 电子探针分析样品化