材料学中常用的分析方法扫描电镜讲义知识介绍.pptVIP

材料学中常用的分析方法Instrumental Analysis in Materials Science;第一讲;* 分辨率的极限： ?0.2?m （可见光(0.4-0.8?m)照明情况下） 放大倍数的极限： ? 2000 ? * 景深的极限： （要求金相制样）  ?0.1?m * 不能分析化学成分;* 用波长较短的电子束为光源 (25kV时，波长 ?=0.007nm )，分辨率可达 5nm，放大倍数 10-100000 ? * 扫描方式导致长物距 ? 数十 ?m （1000 ?时） 不再要求金相准备 * 以电子束诱发原子内层电子跃迁，产生一定波长 的特征x-射线，测量其能量或波长分布，将微 区图象分析与成分分析相结合;荷兰FEI公司 Sirion 扫描电子显微镜;扫描电子显微镜的扫描成象方式;扫描电子显微镜探测的三种主要分析模式;三种主要的被分析信号;电子束引发产生的特征x-射线;特征x-射线谱的标定规则;特征x-射线能量与原子序数的关系;x-射线能谱(EDX)：探测x-射线的Si探测器;Cu - Ti合金的x-射线能谱;特征x-射线与俄歇电子的相对产额 （互为排斥的过程）;超薄窗口获得的Al-Si合金的x-射线能谱;x-射线波谱(WXD)：探测x-射线的波谱仪;能谱 / 波谱方法的比较;能谱 / 波谱方法特点的比较;扫描电子显微镜图象的产生： 电子束诱发产生的电子谱; 各种电子的产额的变化;二次电子像的衬度——拓扑衬度;电子逃逸深度的概念;电子的逃逸深度与电子能量的关系;SEM三种分析模式的分辨率;SEM的其他工作模式;钒单晶的（111）通道花样（背散射电子）;矽钢片的磁畴（背散射电子）;SEM的应用：比光学显微镜分辨率更高;SEM的应用：结构分析与成分分析结合;SEM的应用： 二次电子(左)与背散射电子象(右);SEM的应用：结构象与成分象;SEM的应用：成分线扫描;SEM的应用：景深的优势;SEM的应用：景深的优势;SEM的应用： 断裂断口的分析;SEM的应用： 裂纹扩展过程的实时观察;SEM的应用：  集成电路中电 位的分布;SEM的应用：电子束诱发电流;能谱的局限性：硬质合金(a) 和SiOx(b)的能谱图比较;W、Si的波谱线扫描结??;断面背散射电子象和C、W、Si的波谱象;SEM的新附件： EBSD 技术（电子背散射衍射技术）;EBSD系统附件的构成;EBSD分析系统的构成;SEM所获得的EBSD花样;冷轧铝箔在再结晶初期的EBSD分析结果;碳钢再结晶组织的EBSD分析结果(彩图);第一讲 SEM(EPMA)/EDX/WDX 小结;第一讲 SEM(EPMA)/EDX/WDX 小结;思 考 题;文献阅读;x-射线波谱：光电倍增管