报告题名光学薄膜表面特性量测方法之研究-逢甲大学.PDFVIP

報告題名： 光學薄膜表面特性量測方法之研究 作者：呂侑儒 系級：產業研發碩士專班碩二 學號：M9391284 開課老師：田春林 教授 課程名稱：物理光學 開課系所：資電碩專班電控組 開課學年：九十四學年度 第一學期 光學薄膜表面特性量測系統之研製 摘 要 在光電產業快速發展之際，製鍍高品質光學薄膜可以有效提升光 學系統性能，而薄膜表面的檢測為製鍍高品質光學薄膜之重要參考依 據。因此，本研究提出一套自行研發之光學薄膜表面量測系統，此系 統以 Twyman-Green 干涉儀為其架構並結合自行設計的軟體程式，利 用小波轉換將擷取之影像分高 、低頻呈現，並搭配灰階共生矩陣 (GLCM)與熵值(entropy)運算，以快速測定薄膜表面平坦度之良窳。 此外，利用自行設計的軟體分析處理干涉圖，進而可量測薄膜厚度。 通常厚度之量測須運用干涉儀及精密判讀干涉條紋的位移量來達 成，否則將造成量測上的誤差，因此，為了提升干涉式膜厚量測之精 確度，我們利用 Wiener 濾波器有效地濾除雜訊，並且經由干涉圖形 之細線化，可使程式精確地自動判別條紋之間距與條紋位移量，達成 量測薄膜厚度之目的。 關鍵字 ：光學薄膜，表面檢測，小波轉換，灰階共生矩陣，細線化 I 逢甲大學學生報告 ePaper(2006 年) 光學薄膜表面特性量測系統之研製 目 錄 摘 要 I 第一章 緒論 1 1.1 研究動機 1 1.2 研究方法 2 1.3 本文架構3 第二章 基本原理4 2.1 小波轉換4 2.2 灰階共生矩陣7 2.3 熵值運算 8 2.4 膜厚量測 9 第三章 實驗架構 11 3.1 表面平坦度量測11 3.2 厚度量測 12 第四章 程式撰寫 14 4.1 薄膜厚度量測程式設計16 4.2 平坦度測定程式設計17 第五章 結果分析 18 5-1 基板表面平坦度檢測 19 II 逢甲大學學生報告 ePaper(2006 年) 光學薄膜表面特性量測系統之研製 5-2 薄膜表面平坦度檢測21 5-3 薄膜厚度檢測23 第六章 結論 24 參考文獻25 III 逢甲大學學生報告 ePaper(2006 年) 光學薄膜表面特性量測系統之研製 圖目錄 圖一 小波轉換之結構圖6 圖二 薄膜台階處干涉條紋的位移10 圖三 平坦度量測架構圖12 圖四 厚度量測架構圖 13 圖五 薄膜厚度量測程式流程圖14 圖六 平坦度檢測程式流程圖15 圖七 薄膜厚度量測程式16 圖八 平坦度測定程式17 圖九 基板表面解析18 IV 逢甲大學學生報告 ePaper(2006 年) 光學薄膜表面特性量測系統之研製