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全自动单晶炉-朱强2008-6-28
杭州通灵自动化股份有限公司 系统集成部 朱强 全自动单晶炉(ZJS-60) 产品 设备简介 单晶炉用于在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅材料熔化,用直拉法生长无错位硅单晶。是一种适用于长时间连续工作，高精度，高稳定性的自动控制设备。主要用于太阳能级6-8英寸单晶硅的生产。 系统配置 CJ1M-CPU22+PA202+ID211+OC211+AD081+DA081+NS10 +E6B2 担当部门 系统集成 杭州经营部 营业担当 于杰 技术担当 朱强 程序开发 否 标题:单晶炉解决方案 NS10 RS232 CJ1M ４或２个 CCD单晶直径自适应扫描系统 单晶直径自适应扫描系统简介 直径检测技术是直拉法（Czochralski,CZ法）单晶制造中的关键技术。随着晶圆制造向大直径化发展，相应的其直径检测技术也在向适应大直径化发展。, Ircon系统是早期的直径检测技术，也是目前国内单晶直径检测的主流技术。Ircon系统在125mm直径以下单晶制造使用非常普及。随着单晶制造的大直径化，Ircon系统的局限性也日益显现。由于单晶外圆的不规则，单晶旋转造成了光圈晃动。直径越大，晃动越厉害，Ircon系统的稳定性会因此下降。现在一般在125mm直径以上的单晶制造就很少用此方法。另外，SIMS（Scanned Image Measurement System）直径系统利用扫描原理检测直径。能直观的测得直径的实际读数是SIMS系统的最大进步，但是反射镜旋转是机械运动，需要电机和轴承，会产生磨损，影响最后的计算结果。 因为传统直径检测技术的种种局限性，一种更先进的技术CCD摄像扫描系统很快替代了SIMS系统，并且成为目前国际上大直径直拉单晶直径检测的主流技术。但在国内因为种种原因却一直未得到开发。。 系统构成 NS10 RS232 CJ1M RS232 F160-C10-E F150-S1Ａ 检测单晶炉拉升圆弧直径. ４或２个 和已有的单晶炉控制系CJ1M通讯交换数据,视觉配置 控制器 F160-C10E-2 摄像机 F150-S1A 手持编程器 F150-KP 相机电缆 F150-VS 3M 镜头 16MM 1:1.4 2/3
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