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ESD基础知识与量测方法课件

常用的静电防护用品 3.离子中和设备: 离子风机 离子风枪 * 常用的静电防护用品 4.静电防护包装: 静电屏蔽袋 防静电网格袋 * 常用的防静电警示标志 对静电敏感 不得接近 静电防护 已到位 * 员工静电防护要求 进入防静电区域必须按规定穿好防静电工作服和防静电鞋。 接触静电敏感元器件前必须按规定戴好接地腕带或接地脚带,并通过了相应的静电测试。 易产生静电的物品禁止带入防静电区域内。 静电敏感元器件的搬运、储存及分发必须存放在防静电包装内。 只有在采取了相应的防静电措施后才能打开防静电包装。 * 员工静电防护要求(续) 防静电区域内使用的手推车及货架必须有妥当的接地装置 防静电工作服,工作鞋禁止穿出工作区域,并按规定定时清洗 防静电工作表面的清洗须使用静电防护人员认可的清洗剂 任何静电防护过程中出现的问题,请及时与静电防护管理人员联系 * 量测方法介绍 1.接地及连接系统: * 量测方法介绍(续) 2.设备接地系统: * 量测方法介绍(续) 3.生产设备金属部份至接地线阻抗量测: 将三用电表打开,选用量测电阻值功能,将电表之量测点一端置于设备(须于无涂装之机台金属表面),一端置于接地联机,量测设备到接地线的阻抗值,如果阻抗值10,即符合要求,否则即不符合。 * 量测方法介绍(续) 4.设备对设备阻抗量测: 将三用电表(表面阻抗计)打开,选用量测电阻值功能,将电表的量测点一端置于设备上,另一端置于另一设备上,量测设备到设备的阻抗值,如果阻抗值10,即符合要求。否则即不符合。 * 量测方法介绍(续) 5.静电防护接地线:包含总检桌及固定式料架的ESD接地线测试: 将三用电表打开,选用量测电阻值功能,将电表量测点一端置于ESD接地线,一端置于ESD共同接地点电源接地插座,或搭接邻近的已量测通过的ESD接地线量测ESD接地线的阻抗值,如果阻抗值10, 即符合要求。否则即不符合。如ESD接地之共通接地点端/电源接地插座太远,请使用延长线。 * 量测方法介绍(续) 6.大地接地量测: 步骤1:以导线连接ESD共同接地点及设备接地共同接地点 步骤2:以勾式电阻计量测ESD共同接地点、ESD地桩、大地、设备接地、设备接地桩回路的电阻值,电阻值小于1Ω者为合格。 * 量测方法介绍(续) 7.防静电工作服量测: 步骤1:将工作服置于绝缘体的桌面上,将双袖打开。 步骤2:将表面阻抗计打开,输出电压选择(100V),把重锤两端置于两个袖子上,量测两袖之间的阻抗值,如果阻抗值介于1.0×104 ~ 1.0×1011即符合要求,否则即不符合。 步骤3:如果量测结果不符合,即应清洁后再测试,如仍无法PASS,即需更换。 * 量测方法介绍(续) 8.ESD防护桌垫量测: 将表面阻抗计打开压于静电桌垫中间,或以重锤置于桌垫可用约90 ~100公分的二点,如读值介于1.0×104 ~ 1.0×109,即可PASS测试。 以重锤量测桌垫与ESD grounding wire及桌垫与桌垫间之阻抗值,如阻抗值是1.0×109,表示可PASS测试,否则失败。 * 量测方法介绍(续) 9.ESD防护地板量测: 接地线对地:将表面电阻计打开输出电压选用100V,把重锤一端置于导电地板,另一端连接ESD接地线,在464.5m2的范围区域内,量测点阻抗值介于1.0×104~1.0×109,即符合要求,否则即不符合。 点对点量测:将表面阻抗计打开输出电压值选用100V,把重锤置于ESD防护地板,在464.5m2的范围区域内,量测表面阻抗,两重锤间距约100公分,如果阻抗值介于1.0×104~1.0×109即符合要求 * 量测方法介绍(续) 10.料架量测: 将三用电表打开,选用量测电阻值功能,将电表之量测点一端置于料架(须于无涂装之机台金属表面),一端置于ESD接地联机, 量测料架到接地线的阻抗值,如果阻抗值109,即符合要求。 * 量测方法介绍(续) 11.输送带量测: 将表面阻抗计打开,把重锤的一端夹在 ESD接地线上,一端置于输送带上,量测输送带到ESD接地线的阻抗值,如果阻抗值介于1.0×104~1.0×109,即符合要求。 将表面阻抗计打开,把重锤两端置于输送带上两点,量测输送带的阻抗值,如果阻抗值介于1.0×104~1.0×109即符合要求。 * 量测方法介绍(续) 12.静电敏感元件包装材料量测: 导电材料、消散材料量测:导电材质-表面电阻于1.0×104Ω以下。 静电消散材质-表面电阻介于1.0×104~1.0×1011Ω。 静电屏蔽性材质经过电场时,受屏蔽袋内物体能量变化50nJ。 绝缘物-表面电阻于1.0×1011Ω以上。 * 量测方法介绍(续) 13.可能接触静电敏感元件治具的量测: 将三用电表切换到量测电阻功能,将其一端搭接在治具无涂装的位置,

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