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真空系统介绍 ＳＭＣ（中国）有限公司 　北京分公司　吴胜超 07.06.20作成 什么是真空？① 什么是真空？② 真空吸附和气缸的作动原理基本上是一样的。 即为利用压力差来进行作动的。 1、用途例 2、选型（按照以下项目逐一确认，选出合适的真空元件） 2、选型（按照以下项目逐一确认，选出合适的真空元件） 2、选型（按照以下项目逐一确认，选出合适的真空元件） 2、选型（按照以下项目逐一确认，选出合适的真空元件） 2、选型（按照以下项目逐一确认，选出合适的真空元件） 2、选型（按照以下项目逐一确认，选出合适的真空元件） 2、选型（按照以下项目逐一确认，选出合适的真空元件） 真空发生器的原理 真空发生器是由先收缩后扩张的拉瓦尔喷管、负压腔和接受管等组成。　　　　　　　　　　　　　　　　　　 真空发生器喷管的种类① 真空发生器喷嘴的种类②多段喷嘴　（ＺＭ:２段／ＺＬ:３段） 通过不同特性真空发生器的串联组合，实现了即能满足对高真空压的要求，又能满足对大流量的要求。 真空发生器：排气特性和流量特性 真空发生器：到达时间与真空度 真空发生器 真空发生器：ZH 真空发生器： ZU 真空发生器： ZM 真空发生器： ZMA 真空发生器： ZL 真空发生器： ZA 真空、破坏组件 特点 真空过滤器 压力开关 吸着確認开关/ZSP1 如果喷嘴直径在φ１以下的话、喷嘴本身就会成为阻抗，这样真空压力开关就有可能自动地变成ON。这种场合请使用吸附确认开关/ZSP1。 调压阀 真空→破坏时间：13msec 无过度喷吹（工件的吹飞），工件很顺利脱落 不需要调整真空?破坏的时机 不需要破坏空气的节流回路 O　N OFF 大気圧 -80kPa ＜条件＞ 从单元到工件的距离：500mm 配管内径：Φ2.5 13msec 60msec以上 无工件的吹飞 过度喷吹 一般回路 单信号控制 电气波形 压力波形 喷嘴直径大 喷嘴直径小 相对于吸入流量来说流入的大气量较多，难达到需要的真空压力。 相对于吸入流量来说流入的大气量较少，即使是没有工件的话也能达到需要的真空压力。 吸着喷嘴 吸着确认开关 的芯片工件 END 非接触 真空吸盘 形状-标准型 * * * * 真空 絶対真空 大気圧 表圧力 絶対圧力 0 kPa 0 KPa 101.3KPa －101.3kPa 100 kPa(0.1MPa) 201.3KPa －50 kPa（例） 圧縮空気 0.5ＭＰａ 0.４ＭＰａ 0ＭＰａ 0.1ＭＰａ 0ＭＰａ 真空　　　　（-0.1ＭＰａ） 0MPa 0.1MPa ?例：圧力差0.1MPa? 典型应用例： 真空元件应用于各种各样的场合 IC零部件、小工件 液晶基板、薄板、纸 汽车、包装 A-确认使用条件 A-1 是什么样的工件？ ?重量？?大小？?形状？?表面状态？ IC零部件 细长工件 圆筒型工件 表面凸凹不平的工件 有弯曲的工件 螺钉 汽车零部件 纸板 透气性的工件（纸、布、有孔的薄膜等） A-确认使用条件 A-2 用在什么样的装置上，使用的环境如何？ 快？ 慢？ 真空发生器同吸盘间的距离？ 近？ 远？ A-确认使用条件 A-2 用在什么样的装置上，使用的环境如何？ 臭氧？ A-确认使用条件 A-2 用在什么样的装置上，使用的环境如何？ 吸盘的安装有限制吗？ 是真空发生器系统还是真空泵系统？ 真空发生器？ 真空泵系统？ B-选择吸盘 查图法 其他形状 求吸盘的提升力？ 选择吸盘的形状？ 风琴型？ B-选择吸盘 材质特性 吸盘材质？ 连接件？ 带缓冲？ 防回转？ 头可摆动？ B-选择真空发生器 拉瓦尔喷管 接受管 负压腔 動画 流量型喷管（L） 圧力型喷管（S） 重视吸入流量 用途： ?大口径真空吸盘等应答時间 延迟的短縮 　　　　?对于泄漏量多的工件 重视最高真空圧力 用途： ?高荷重工件的搬送 　　　　?工件有一定泄漏量的场合比起 流量型来说可以获得更高的真 空压力 圧力形喷嘴 流量形喷嘴 ZH07BS、ZH07DS 真空发生器：最大吸入流量Qmax的选定 从吸着响应时间，推出真空发生器的尺寸或真空泵系统切换阀的尺寸。 A、无泄漏 Q 真空发生器：最大吸入流量Qmax的选定 B、有泄漏 QL Qmax=Q+3QL ※泄漏量的计算 Ⅰ）、计算法 　Ⅱ）、试验法　 对于吸附操