有哪些信誉好的足球投注网站- 1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
现代工艺技术PECVD
现代工艺技术PECVD 原理： 利用高频电源放电产生等离子体化学气象沉积过程施加影响的技术 过程特点 1 在成莫过程中，大约在5—500Pa的压力范围。 2 由于等离子体的存在，促进气体分子的分解，化合，激发和电离，促进反应活性集体的生成。 使用环境和工作条件 1 环境温度 25 2 相对湿度 《75% 3净化等级 1000—10000级 4 电源 380||50HZ 5供水 水压0.2—0.4MPA 6供气体 SIH4 NH3 N2 CF4 7排风系统 主要性能指标 1 成莫种类 氮化硅 2装片尺寸 125 156 3成莫均匀性 84片每批 70片每批 4使用温度 150—400 5升温时间 RT 400《50min * * *
文档评论（0）