宽调谐范围垂直腔面发射激光器特性分析及设计.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ;% 0 $## 0 ， ， ， )FC /;% TF / 0 8EDE.J $## （ ） ###A’$(#9$##9;% #0 9:;0;A#; 8*Q8 RS+5*8 +5T5*8 !$## *UB1 / UV. / +FM / 宽调谐范围垂直腔面发射激光器特性分析及设计! ! 关宝璐 郭 霞 杨 浩 梁 庭 顾晓玲 郭 晶 邓 军 高 国 沈光地 （北京工业大学电子信息与工程控制学院，北京市光电子技术实验室，北京 ###$$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $##% $ $## ’ $( 运用光学传输矩阵和有限元方法对波长可调谐垂直腔面发射激光器（ ）的波长调谐范围进行了研究 对 )*+,-. / 中心波长为 的可调谐 的波长调谐特性和微电子机械系统（ ）悬臂梁结构进行了设计，并进行了 (0# 12 )*+,-. 3,3+ 实验研究 结果表明， 可调谐 调谐特性同时受到光波谐振腔结构和悬臂梁最大位移的共同影响 在悬 / 3,3+ )*+,-. / 臂梁几何尺寸和激光器有源区结构一定的条件下，通过优化可调谐)*+,-. 的牺牲层厚度可实现大范围波长调谐/ 同时，对可调谐)*+,-. 整体结构进行了设计，计算结果显示波长调谐范围达到’# 12 以上，调谐效率达到# 4 $，调 谐过程中所有激射波长都处在51678.9 678. 量子阱高增益区/ 关键词：悬臂梁，可调谐垂直腔面发射激光器 ： ， ， !## :$;; :$0#= %:0#6 化设计/ 本文的研究对于3,3+ 可调谐滤波器、探测 4 引 言 器等光电子器件的制备和分析同样具有应用和指导 意义/ 波长可调谐垂直腔面发射激光器（ ）在 )*+,-. 密集波分复用（ ）光网络、电子通信、计算机光 可调谐 的调谐特性 ?N?3 $ 4 )*+,-. ［— ］ 互连中具有广泛应用前景 : / 其不仅可以取代多 个单频激光器，提供及时、有效的补偿和保护方案， )*+,-. 波长的物理调谐范围和悬臂梁的力学 有效降低网络成本，而且可与其他主动和被动器件 特性直接影响其光输出特性和波长调谐范围，因此 组合，提供新颖的光切换和路由功能，从而增加网络