多弧离子镀！#与不同金属基材间的接触界面与表面特性.PDFVIP

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2017-10-15 发布于江苏
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多弧离子镀！#与不同金属基材间的接触界面与表面特性

!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! !#$%%!# ’’ !$()$( 多弧离子镀!# 与不同金属基材间的接触界面与表面特性 . . @ . . . 徐富春，王水菊，林秀华，汤丁亮，张棋河，薛茹（厦门大学分析测试中心，物理系，固体表面物理化学国家重点实验室，厦门） . + @ + + #(! 摘要：用多弧离子镀技术在不同金属基材上进行镀膜实验，制备了、和复合膜借 A/B A/B *: A/B 29 A/B 2C 29 + 助扫描电子显微镜（）、射线衍射仪（）和光电子能谱（），研究了与、和三种不同衬底 1,D E EFG EH1 A/B *: 29 2C 29 接触界面的形貌、结构及其表面特性观察发现，在一定离子镀膜条件下，涂层可与、和金属基 + 1,D A/B *: 29 2C 29 材形成均匀平整的接触界面，在铜基上界面清晰，在与界面有明显的层状晶界微结晶分布分析 A/B *: 2C 29 + EFG 显示，、和表面生成的薄膜都包含、等多晶相，在界面还包含的金属间化合物 *: 29 2C 29 A/B A/ B 2C 29 A/ I 2C + ’ EH1 结果表明，表面除了膜外，还生成和等氧化膜 K 刻蚀后，消失，减少， A/B A/J A/J B + 3C -/6 A/J A/J B A/B ’ ! ’ ! 则呈增加趋势+ A/B 与2C 29 界面形成明显的A/ I 2C 和2C I B/ 互扩散层，这有助于增强薄膜附着力，形成较牢固的 A/B 涂层+ 关键词：多弧离子镀；氮化钛；接触界面；表面特性中图分类号：，，文献标识码： AL!%= + ! AL!! += J=?= + 3 面微结构化学组成与表面形貌的影响，以期获得覆 $ 引言盖牢固、稳定性好、机械性能佳