M5111-4WUM系列高温扩散氧化系统.docxVIP

江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-SB-048版本状态A/0文件名称M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统扩散炉操作规程页 码1/4编制/日期：审核/日期：批准/日期：1.开机操作1.1开机前检查确认内容：1.1.1 检查电源。打开电控柜电源开关。确定整机上电正常，电源指示灯亮。1.1.2 检查气源。确定氧气、压缩空气、氮气的压力为0.4-0.6MPa。1.1.3 检查排气系统。检查各风口排风应有风吸出。1.1.4检查水源。确定冷却水进出水阀应在打开状态。1.1.5 检查源瓶。确认源瓶上的进气出气阀门已打开，各接口连接正常。1.1.6检查BV100恒温水槽。确定温度正常。如需开关机，按开关机按钮3秒以上。1.1.7 检查急停按扭。确定按扭正常。1.2其它检查内容：1.2.1 检查净化台。应干净，无废液，无其它物品。1.2.2 检查接液槽。各面应干净，无废液。1.2.3 检查气源柜。各面应干净，无废液。1.2.4 检查BV100水槽。水面正常，水中无杂物。1.3开启监控系统：1.3.1启动计算机。按下电控柜面板上的“上电”按钮。1.3.2启动扩散炉监控系统。双击屏幕上“扩散炉监控系统” 图标，输入密码登陆监控系统软件，初始密码为AAAAA。1.3.3 启动加热。按加热按钮前先将温度设定为0才可操作。1.3.4当加热按钮按下后加热指示灯亮时，开机完成。1.3.5 生产操作见工艺操作规程。2.关机操作2.1关机前检查确认内容：2.1.1关闭加热。按加热停止按钮前先将温度设定为0时方可关闭加热停止按钮。2.1.2 关闭扩散炉监控系统。双击屏幕上“扩散炉监控系统” 图标，输入密码登陆监控系统软件，初始密码为AAAAA。2.1.3关闭计算机。按下计算机关机按钮。2.1.4关闭控制电源。按下电控柜面板上的“关机”按钮,即关闭该炉管的控制电源。2.1.5关闭BV100恒温水槽。按关机按钮3秒以上。2.1.6关闭电控柜电源开关。2.1.7 关闭冷却水。当炉温度降至50度以下，方可关闭冷却水水阀。江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-SB-048版本状态A/0文件名称M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统扩散炉操作规程页 码2/43. 设备保养内容3.1设备月保养：3.1.1设备月保养项目、保养时间，详见:a.设备人员——扩散炉设备月保养计划/实施表。b.操作人员——扩散炉设备月保养计划/实施表。3.1.2 设备月保养的执行标准、要求和注意事项参看：a.操作人员参看：操作人员——扩散炉班月保养指导书。b.设备人员参看：1. 48所编制的扩散炉维修手册。2. 48所编制的扩散炉安装手册。3. 48所编制的扩散炉安全手册。4. 48所编制的扩散炉使用手册。3.1.3 设备月保养由设备人员，工艺人员和操作人员三方人员共同完成。3.2设备周保养：3.2.1 设备周保养项目、保养时间，详见 ：设备人员——扩散炉设备日周保养计划/实施表。3.2.2 设备周保养的执行标准、要求和注意事项参看：1. 48所编制的扩散炉维修手册。2. 48所编制的扩散炉安装手册。3. 48所编制的扩散炉安全手册。4. 48所编制的扩散炉使用手册。3.2.3 设备周保养由设备人员完成。3.3设备日保养：3.3.1 设备日保养项目，保养时间，详见：设备人员——扩散炉设备日周保养计划/实施表。3.3.2 设备日保养的执行标准、要求和注意事项参看：1. 48所编制的扩散炉维修手册。2. 48所编制的扩散炉安装手册。3. 48所编制的扩散炉安全手册。4. 48所编制的扩散炉使用手册。3.3.3 设备日保养由设备人员完成。3.4设备班保养：3.4.1 设备班保养项目、保养时间，详见：操作人员——扩散炉设备班保养计划/实施表。3.4.2 设备班保养的执行标准、要求和注意事项参看：操作人员——扩散炉班月保养指导书。江苏林洋新能源有限公司文件编号SF/03-SB-048版本状态A/0文件名称M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统扩散炉操作规程页 码3/43.4.3 设备班保养由操作人员完成。4. 设备故障分析与排除4.1温控器上显示HHHH4.1.1 热电偶开路，万用表欧姆档检测断路，阻值无穷大，焊接好热电偶。4.1.2热电偶与补偿导线接触不良，万用表欧姆档检测时触动线路，时断时通，重新接好热 电偶，重新接好补偿导线。4.1.3补偿线与温控器接触不良，万用表欧姆档检测正负线路时断时通，重新接好热电偶，重新接好补偿导线。4.2系统显示超温报警并自动切断加热电流。4.2.1.热电偶开路，万用表欧姆档检测断路，阻值无穷大，焊接好热电偶。4.2.2可控硅烧坏短路，将温控表上“SV”设定值设定为“0”，然后用钳