有哪些信誉好的足球投注网站蓝宝石衬底上algan外延材料的低压mocvd生长 growth of algan epilayers on sapphire by low pressure metal organic chemical vapor deposition.pdfVIP
- 1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
蓝宝石衬底上algan外延材料的低压mocvd生长 growth of algan epilayers on sapphire by low pressure metal organic chemical vapor deposition
SEMICoNDUCToRoPTOELECTRoNICSV01．28No．6 Dec．2007
赵 红1，邹泽亚1’2，赵文伯1，杨晓波1，
刘 挺1，廖秀英1，王 振1，周 勇1，刘万清1
2．电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都610054)
(1．重庆光电技术研究所，重庆400060；
摘 要： 采用低温AlN成核层在l
较好，(0002)X射线衍射回摆曲线半峰宽FWHM为853弧秒。当反应室气压从5×103Pa降到
2×103
Pa后，A1GaN外延层的生长速率和固相A1组分都显著提高。
关键词： MOCVD；AlGaN；低温核化层
中图分类号：TN304．054；
Gro袖of铷QlN n麟l鹏Metalal锄jcal
EpilayerS蚰sappllireby“w 0_罾Injc VaporE印吲ti衄
ZHAO Wen_b01，YANGXiao也01，
Hon91，ZOUZe—yal～，ZHAO
LIU Zhenl，ZHOU
Tin91，I。IAOXiu—yin91，WANG Yon91，LIUWan—qin91
of
Research Electronic
(1．ChongqingoptoelectronicsInstitute，Chongqing400060，CHN；2．StateKeyLaboratory
ThinFilmsand ofElectronicScienceand of 610054，CHN)
IntegratedDevices，University TechnologyChina，Chengdu
A1GaN were on low metal
Abstract： ep订ayersgrownsapphire(0001)bypressureorganic
of1 1 GaNbuffer
chemical atsubstrate 80℃ without layer，
vapourdeposition temperature
low AlNnucleation surfaceswereobtainedonthe
utilizingtemperature layer．Specular epilayers
Al than curve
with toO．6，thichness diffraction
compositionup greater1弘m，andX—ray rocking
FWHMof(0002)reflectionaround853arcsec．Thereductionof from50mbar
growthpressure
mbar ofboth rate
您可能关注的文档
- 垃圾发电cdm项目风险评价及规避策略 risk assessment and evasion strategies for garbage power generation cdm project.pdf
- 垃圾短信的智能识别和实时处理 intellectual recognition and real-time processing of the junk short message.pdf
- 垃圾短信拦截技术研究 research in the control of spam message.pdf
- 扩展升压z源逆变器及其控制策略的研究 study of the expended-boost z-source inverter and its control strategy.pdf
- 垃圾焚烧电厂报表系统设计及应用 design and application of reporting table system in msw incineration power plant.pdf
- 垃圾焚烧电厂顺序控制系统设计及实现 design and implementation of sequence control system for msw incineration power plant.pdf
- 垃圾焚烧厂信息化系统的研究与应用 research and application of waste incineration information system.pdf
- 垃圾焚烧发电cdm项目额外性及方法学研究 study on methodology and additionality of cdm project in power generation with msw incineration.pdf
- 垃圾焚烧发电厂锅炉参数技术的选用 selection of boiler parameters and techniques for waste-to-energy plant.pdf
- 垃圾焚烧发电厂焚烧炉的选型 type selection of incinerator for waste burned power plant.pdf
- 蓝宝石衬底上水平生长zno纳米线及紫外敏感性能研究 horizontal growth and ultraviolet sensitivity characteristics of zno nanowires on sapphire substrates.pdf
- 蓝宝石衬底上原子级光滑aln外延层的mocvd生长 epitaxial growth of atomically flat aln layers on sapphire substrate by metal organic chemical vapor deposition.pdf
- 蓝宝石多线切割设备及切割技术 the diamond wire saw for sapphire and cutting technique.pdf
- 蓝宝石晶体生长工艺及设备 sapphire crystal growth technology and equipment.pdf
- 蓝宝石上高电子迁移率algangan材料的研究 study of high electron mobolity algangan materials grown on sappire substrates.pdf
- 蓝宝石抛光去除率试验的正交设计方法 the orthogonal experimentation of sapphire polishing removal rate.pdf
- 蓝光led投光灯具高温老化光电性能研究 research on optical performance of blue led floodlights under high-temperature aging.pdf
- 蓝宝石用高密度氧化铝料的制备方法 preparation method of densified alumina for sapphire growth.pdf
- 兰州铁路西客运站候车大厅广播系统声场设计 design of broadcasting sound field for waiting hall of lanzhouxi railway station.pdf
- 蓝牙4.0无线传感网数据采集及以太网传输设计 design of data collection of wireless sensor networks based on bluetooth 4.0 and ethernet transmission system.pdf
文档评论（0）