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低温共烧陶瓷(ltcc)技术应用进展 development of low temperature co-fired ceramic (ltcc) technology
低温共烧陶瓷(LTCC)技术应用进展 曾志毅,王浩勤,尉旭波 (电子科技大学电子科学技术研究院,四川成都610054) 摘要:作为一种新兴的集成封装技术,低温共烧陶瓷(LTCC)技术以其优良的高频和高速传输特性、小 型化、高可靠而备受关注.介绍了低温共烧陶瓷技术的工艺,材料特性、应用及发展趋势,分析其在功能模块 领域应用的可行性. 关键词:LTCC技术;工艺;材料特性;应用;发展趋势 中图分类号:TM28 文献标识码:A 文章编号:1001.3830(2007)02-0007-04 ofLow Co-fired Development Temperature ZENG NG Xu-bo Zlli。yi,WA Hao—qin,WEI ResearchInstitutes Scienceand ofElectronic Technology,UniversityofElectronic 610054,China Scienc&TechnologyofChina.Chengdu ● Abstract:Asa new and low CO—fired packingtechnology,thetemperatureceramic(LTCC) integrating attractscloseattentionforitsexcellent and transfer technology highfrequencyhighspeeA:l characteristics, this and trend reliability.In technics,material miniaturization,highpaper,the characteristics,applicationdevelopment ofLTCC ale its inthefunctionmoduleareais introduced,and technology applicationfeasibifity analyzed. words:LTCC trend Key technology;process;material 1引言 LTCC技术,就是将低温烧结陶瓷粉制成厚度精确 而且致密的生瓷带,在生瓷带上利用激光打孔、微 近年来随着军用电子整机、通讯类电子产品及 孔注浆、精密导体浆料印刷等工艺制出所需要的电 消费类电子产品迅速向短、小、轻、薄方向发展, 路图形,并将多个无源元件埋入其中,然后叠压在 手机、PDA、MP3、笔记本电脑等终端系统的功
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