低温共烧陶瓷ltcc埋置电感的研究 investigation on zmbedded inductor in ltcc.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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低温共烧陶瓷ltcc埋置电感的研究 investigation on zmbedded inductor in ltcc.pdf

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低温共烧陶瓷ltcc埋置电感的研究 investigation on zmbedded inductor in ltcc

第7卷，第7期电子与封装总第5l期 Vbl．7．No．7 2007年7月 ELECTRONICSPACKAG玎NG ，7。?jj7i一、．，7■j、。、j‘77『、j1。一‘一～。．1 i裁，越、蓑9≮；；强强臻，徙童9≮湛一弋鲮? 低温共烧陶瓷LTCC埋置电感的研究杨宗宝，刘颖力，燕文琴，李元勋 (电子科技大学微电子与固体电子学院，成都610054) co—Fnd 摘要：文章讨论了低温共烧陶瓷(LowTemperature 结构，并进行了仿真。分析了结构变化对电感各参数的影响，并通过L1℃C工艺流程实现样品的制作。建立奠定了基础。关键词：低温共烧陶瓷；埋置电感；等效电路中图分类号：TN305．94文献标识码：A hductorinLTCC InVestigation伽Zmbe耐ed Ⅵ气NG YuaIl—xIlll Zong_bao，UUⅥn-h，YANW．en—qiIl，U scfP，lcP (7兹PcDZZPgPQ厂，，lfcrDPfPcf，．Dnlcs口，ldsDZ谢一5f口f已PZ已cf，’D，lfcs，(，hfl，已，苫f钞Q厂已f已cfrDnfc 口，ld陀c．}l，zDfDgy巧劬伽n，劬Png砌610054，仍f，ln) iIl ofaembeddedinductorLTCCw勰discussedjJl吐lis wasfound Abstr毗t：T1legeome仃icaldesign paper．It thatmeVariationof haveclo∞陀l撕onwinlmeinductors协】【ctIlre．ne resultconf0衄 p艄衄鼬ers experimental data a foundati∞fbrnleex劬ctionof c沁llit锄destablish- wimⅡlesim_u1砷ed wen，whichlays900d eqlliValent mentofdeviced鼬ase． words：low co-fired circllit ceraIIlic；embc妯ded Key tempemmre inductor；equiValent 1 引言 2 电感的结构当代信息技术的核心技术是以半导体元件的集成 u_oC技术实现的电感有平面螺旋电感和叠层电感等为基础的集成电路技术。随着有源器件集成度的不断提形式，如图l所示。本文选用的是片式叠层结构的电感。 HFSS 高，越来越多的功能被集成到单片上