等离子清洗工艺对pbga组装可靠性的影响 effect of the plasma cleaning process on plastic ball grid array package assembly reliability.pdfVIP

等离子清洗工艺对pbga组装可靠性的影响 effect of the plasma cleaning process on plastic ball grid array package assembly reliability.pdf

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等离子清洗工艺对pbga组装可靠性的影响 effect of the plasma cleaning process on plastic ball grid array package assembly reliability

第7卷,第l期 电 子 与 封 装 总第45期 voI.7,No.1 2007年1月 ELECTRONICSPACKAGING 封4i装;、,:组0装≥与誓捌,≮试 等离子清洗工艺对PBGA组装可靠性的影响 杨建生 (天水华天科技股份有限公司,甘肃天水741000) 摘 要:文章主要论述了PBGA组装的等离子清洗评定,包括抗界面剥离。研讨了通过射频和微波 能量施加功率的两种不同的等离子体系。通过测量表面接触角获得最佳的等离子清洗工艺参数。通过扫 描电子显微镜、抗拉及剪切力试验来鉴定等离子清洗结果,试验样品为27mm×27mm的292个焊球 检查的结果,证明了最佳的等离子清洗工艺会增强PBGA封装的定性等级,并提高工艺效率和生 产率。 关键词:等离子清洗;塑封焊球阵列;预处理;抗拉试验;扫描声学显微镜;高压蒸煮试验 中图分类号:TN305.94文献标识码:A EffectOfthe Plasma PI.ocessonPlasticBaIlGrid Cleaning Array PackageAssemblyI沁liability M气NG JiaIl—sheng (An,ls.『lHf.H“口ff口,lz龟c,l,|DfDgyCD.,L西区,死口,lsJ}l“f741000,C^fn口) Abstract:Thisfocusesontheevaluationof on PBGA resistanceto paper plasmacleaning assembly,including interfacedelamination.11wodi丘erent radio and plasmasystems,poweredby frequency areobtainedsurface contactmeasurements.The resultsarealsoverified e唱y by angle plasma cleaning by electron weuas andsheartests.Thetest are vehicles27 scanningmicroscopy(SEM)asphysicalpull mm× 27mm292-ballPBGAs.Theresultsfrom and wire enc印sulationpeeltests,dieencapsulantpuUtests,bonding testsand C-Mode are demonstratesthatthe pu

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