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真空泵培训材料（一） 合肥工业大学机械与汽车工程学院 真空与过程装备教研室 王 君 2006年11月 真空泵培训基本内容 1、真空泵的基础知识； 2、液环式真空泵； 3、旋片式真空泵； 4、滑阀式真空泵； 5、罗茨式真空泵； 6、分子泵； 7、无油干式真空泵； 8、喷射式真空泵； 9、气体捕集真空泵。 本讲座将介绍各类泵的原理、基本参数、基本结构、相 本讲座将介绍各类泵的原理、基本参数、基本结构、相 关标准、安装、使用及维护的基本知识。 关标准、安装、使用及维护的基本知识。 合肥工业大学真空与过程装备教研室 一、机械真空泵基础知识 1、几个基本问题 1.1 定义 真空泵是根据一定的工作原理，用来产生、改善和维持真 空环境的装置。 解释： 解释： • 真空泵的工作原理：机械、物理、化学。 • 真空泵的工作原理：机械、物理、化学。 • 真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。 • 真空泵的工作目的：排出气体，获得真空。 • 真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。 • 真空泵的定位：系统中完成真空获得功能的单元。 • 真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。 • 真空泵的分类方法：利用获得真空的原理方法，或用途。 粗低真空 高真空 超高真空 •食品行业 •冶炼 •空间模拟 •化工行业 •真空热处理、真空焊接 •材料科学分析 •冷冻干燥 •集成电路、半导体制造 •物理现象研究 •轻工行业 •各种镀膜工艺 •表面分析 •制药行业 •各种表面加工工艺 •高纯材料制备 (如： •导电 (真空放电灯具) •化学研究 MBE) •离子注入 •隔离作用（绝热） 合肥工业大学真空与过程装备教研室 一、机械真空泵基础知识 1、几个基本问题 1.2 真空系统的基本组成 9 1 真空室 8 2 高真空泵（主泵） 3 预抽泵 1 7 3a 前级泵 8 4 高真空阀门 5 低真空阀门