有机薄膜器件的镀膜自动控制系统设计.pdfVIP

中图分类号：TP27 文章编号：1671—459812008)11—1619—03 文献标识码：A 有机薄膜器件的镀膜自动控制系统设计 唐 超1，夏斯杰2，徐 慧3，吴开红2 3．南京邮电大学光电工程学院，江苏南京210003) 擒要：设计了用于有机薄膜器件的镀膜自动控制系统；整个自动控制系统以单片机为核心，可分为3个功能模块：人机交互、强弱 电转换，样品处理．人机交互由单片机来实现；强弱电转换由固体继电器来完成；样品处理包括镀膜速率自动控制和样品保护两个部 分。控制系统体现了弱电控制强电的设计思路，系统采用了单片机、继电器、电磁阀和可调变阻器等器件以及程控可调电阻电路。所 设计的控制系统能克服目前有机薄膜器件镀膜系统的一些弊端，实现镀膜和镀膜速率的自动控制，并且能够避免有机半导体材料在真 空腔内的相互污染。 美毽词：用于有机薄膜器件的真空镀膜自动控制系统；单片机}固体继电嚣；电磁阀 ofAutomaticControl ofFilm for Design System Deposition Fabricationof FilmDevice Organic Cha01，Xia Hui3，Wu Tang Sijie2，Xu Kaihon92 (1．InstituteofAdvancedMaterials，NanjingofPostsand 210003。China； University Telecommunications。Nanjing 0f of Postsand 210003，Chitin, 2．Collegeautomatization。NanjingUniversity Telecommunications。Nanjing of ofPostsand opto—Electronic，Nanjing 210003，China) 3．College University Telecommunications，Nanjing automaticcontrol offilm forfabricationof filmdevicewas inthis onthe Ahetract：The system deposition organic designedpaper．Based wholecontrol could be intothreefunctionalmodules，thatis，themodulesofhu— single—chipmicrocomputer，thesystemmainlyseparated interface，conversionfor andweak thetreatmentof semiconductorhuman— man--computer strong electricity。and organic sample．The computerinterfacewasrealized conversionfor andweak wasrealized