带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法.pdfVIP

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2017-07-19 发布于北京
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带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法.pdf

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带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法.pdf

A · · · 句 A y n VS No oeJ 01 3 『第34 卷第9 期东北大学学报(自然科学版) ,? 句 2013 年 9 月 Journa1 of Northeastem University( Natura1 Science) ，，、 3 带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法周炳海，石潇铭 (同济大学机械与能源工程学院，上海 201804 ) 摘要:为了有效解决集柬型晶圆制造设备群加工过程中存在的重入调度问题，构建了带重入约束的双集束型晶圆制造设备调度算法.首先分析了双集束型晶圆制造设备中重入约束特征.在此基础上，建立调度问题域，并以系统加工周期最小为目标，建立调度模型.采用分解策略，将双集束型晶圆制造设备调度问题分解成单个设备调度问题，并提出了一种全新的机械手调度顺序有哪些信誉好的足球投注网站的启发式算法.最后对调度算法进行仿真实验分析，结果表明该算法是有效的. 关键词:集束型设备群;调度;重入约束;算法;仿真实验申圄分类号: TP 39 1. 9 文献标志码:A 文章编号: 1∞5 -3026(2013)09 -1305 -05 Scheduling Algorithm for Double-Cluster Tools of Wafer Fabrication System with Reentrant Constraints ZHOU Bing-hαi ， 5H! Xiao-ming ( School of Mechanical Engineering , Tongji University , Shanghai 201804 , China. Corresponding au由or: ZHOU Bing-hai , E-mail: bhzhou@tongj i. edu.cn ) Abstract: To effectively solve scheduling problems of multi -cluster tools of wafer fabrication system with reentrant constraints in running process , a scheduling a1gorithm was proposed. First1y , the characteristics of reentrant constraints of double-cluster tools were ana1yzed. The problem domain of double-cluster tool scheduling was established and mathematica1 programming models were set up to minimize the system cycle time. The scheduling probl