氙气质量流量计校准装置测量不确定度评定.pdfVIP

2014年 10月 宇航计测技术 0ct．．2014 第34卷 第5期 JournalofAstronauticMetrologyandMeasurement V0I_34．No．5 文章编号：1000—7202(2014)05—0076—03 中图分类号：TB937 文献标识码：A 氙气质量流量计校准装置测量不确定度评定 魏万印 李得天 冯 焱 成永军 管保国 (兰州空间技术物理研究所，兰州 730000) 摘 要 通过建立氙气质量流量计校准的测量模型，分析了测量不确定度分量，最后合成了氙气质量流量 计校准装置的相对合成标准不确定度，并对评定结果进行了分析讨论。 关键词 氙气 质量流量计 校准装置 测量不确定度评定 EvaluationofM easurementUncertaintyofGasM ass Flow M eterCalibrationApparatuswithXenon WEIWan--yin LIDe--tian FENGYan CHENGYong-jun GUANBao--guo (LanzhouInstituteofPhysics，Lanzhou730000) Abstract Inthispaperthemeasurementmodelofgasmassflow meterwith xenonwassetup， measurementuncertaintywasanalysed，therelativecombinedstandarduncertaintyofcalibrationappara— tuswasgiven，thentheevaluationresultswerediscussed． Keywords Xenon Massflow meter Calibration apparatus Evaluationofmeasurementuncer． taintv 1 引 言 流量计(简称为氙气质量流量计)，有必要采用氙气 开展实际气体校准工作。 热式气体质量流量计具有压损低，精度高，重复 为保证氙气质量流量测量的准确、可靠，研制了 性好等优点，被广泛应用于航空、航天、能源、医学、 一 套氙气质量流量计校准装置，该装置具有测量范 汽车工业 以及管道运输等行业。热式质量流量计通 围宽，测量不确定度小等优点。本文通过建立数学 常采用高纯氮气或空气校准，当被测介质为其他气 模型、分析测量不确定度来源、量化各测量不确定度 体时，需要通过转换系数换算得到实际的气体质量 分量，对氙气质量流量校准装置的测量不确定度进 流量。一般情况下，通过理论计算就可以得到转化 行了评定。 系数，对测量要求不高的一般工业生产领域，这种方 法可以满足使用要求。 2 测量不确定度的评定 氙气由于特殊的物理、化学性质，被用于等离子 体技术、激光技术、电光源技术、脑血流量和胰岛素 2．1 测量模型 分泌量的测量等高科技领域。在这些测量要求较高 氙气质量流量计校准装置的测量原理：在温度 的尖端技术领域，对测量氙气质量流量的热式质量 不变的情况下，将氙气引入到一定容积的校准室中， 第5期 氙气质量流量计校准装置测量不确定度评定 通过测量校准室中的气体压力的变化率，计算出气 = VofPo—l＼ (4) 体标准质量流量…。即