氧化锆球体上的铝膜机械球磨法制备及工艺研究.pdfVIP

第 33卷第 1期 西 华 大 学 学 报 ( 自 然 科 学 版 ) 2014年 1月 Vo1．33，No．1 JournalofXihuaUniversity ·NaturalScience Jan．2014 · 先进材料及能源 · 氧化锆球体上的铝膜机械球磨法制备及工艺研究 查五生 ，吴开霞 ，陈立 甲 ，周淑容 (1．西华大学材料科学与工程学院，四川I成都 610039；2．四川职业技术学院，四川 遂宁629000) 摘 要：在氧化锆球体上用机械球磨法制备铝膜，采用 SEM和EDS观察铝膜的显微形貌及成分 ，分析了铝涂 层的形成过程，运用 Lq(3)正交试验研究了球磨时间、球磨转速和球料 比等工艺参数对膜厚的影响规律。结果表 明：球磨转速 、球磨时间、球料比影响膜厚的极差依次减小；以球磨时间10h、转速250r／min、球料比7：1参数制备 的铝膜最厚，达到了50I．Lm，且铝膜结构较致密，含氧量低、纯度高，与氧化锆球体机械结合 良好。 关键词：铝膜 ；机械球磨法；真空烧结；工艺参数；膜厚 中图分类号：TB43 文献标志码：A 文章编号：1673—159X(2014)01—0028—03 doi：10．3969／j．issn．1673—159X．2014．01．007 ● PreparationofAIFilm byM echanicalCoatingTechniquewithZrO2Balls ZHAWu-sheng，WUKaixia，CHENLi-jia，ZHOUShu—rong (1．School0厂MaterialsScienceandEngineering，XihuaUniversity，Chengdu610039China； 2．SichuanVocationalandTechnicalCollege，Suining629000China) Abstract：TheA1filmwasfabricatedusingmechanicalcoatingtechnique(MCT)onZrO2ceramicballs．Themicrostructureand compositionofthefilm wereexaminedbySEM andEDS．Theeffectsofmillingtime，millingspeedandball-to—powdermassratioon thethicknesswereinvestigatedbyL9(3)orthogonaltest．Theresultsshowedthatthefactors，whichaffectedthefilmthickness，were theballmillingrotatingspeed，ballmillingtime，andball—to—powdermassratio，from maximum tominimum．Themaximum film thick— hessreachedto50[zm anditwaspreparedifmillingtimeis10h，millingspeedis250r／min．，andball—to—powdermassratiois7：1． TheA1film wascompacted，withlow oxygencontentandhighpurity．ItwasmechanicallybondedwellwithZrO2balls． Keywords：A1film ；MCT；vacuum sintering；processparameters；film thickness 铝金属具有优异的光学性质和电学性质，使得 年来在理论研究以及新材料研制方面，均显示出越 铝薄膜在微电子电路、薄膜电路和光学薄膜中被广 来越旺盛的活力 j。机械球磨法制