氧化铝陶瓷封接强度的统计分析.pdfVIP

· 真 空 电 子 与 专 用 金 属 材 料 、 陶 瓷 一金 属 封 接 专 辑 · 氧化铝陶瓷封接强度的统计分析 石 明 ，张 巨先 。，刘 征 ，高陇桥 ，黄 亦工 (1．北京真空 电子技术研究所 ，北京 100015；2．大功率微波 电真空器件技术国防科技重点实验室，北京 100015) StatisticalAnalysisofSealStrengthforAl203Ceramics SHIMing ，ZHANG Ju—xian ，LIU Zheng ，GAO Long—qiao ，HUANG Yi—gong (1．BeijingVacuumElectronicsResearchInstitute，Beijing100015，China； 2．Vacuum ElectronicsNationalLaboratory，Beijing100015，China) Abstract：Using W eibullandNormaldistribution，sealstrength forA1203ceramicswasanalyzed． W eibullparameterandCoefficientofvariationshoweditsdecentralization．In addition，thedataofstand— ardtensilestrength，nailpullingstrengthandbendingstrengthwascomparedbyW eibulldistribution． Keywords：Seal，StatisticalAnalysis，W eibullparameter，Coefficientofvariation 摘要 ：采用 Weibul1分布和正态分布 ，对氧化铝陶瓷封接强度进行统计分析 ，并通过 Weibull模数和变异系数来表征 了材 料强度 的离散性 。同时通过 Weibul1分布 ，比较 了标准组合抗拉强度 、拉钉强度和抗折强度测试 的数据 。 关键词 ：封接 ；统计分析 ；Weibull模数 ；变异系数 中图分类号 ：TB756 文献标识码 ：A 文章编号 ：l002—8935(2011)04—0023—04 由于制备工艺和脆性特征等 因素 ，陶瓷存在随 证工艺一致性 、材料种类固定的基础上 ，来对陶瓷封 机分布的内部或表面缺陷 ，同一材料且同一尺寸 陶 接强度数据进行统计分析。 瓷的强度变化可 以是其平均强度 的 100 甚至更 1 组合抗拉件封接强度数据分析 大口]，因而其强度具有很大的分散性，在陶瓷材料的 用两种活性 Mo—Mn法金属化配方 (配方 A 和 力学性能评价尤其在可靠性设计 中，不能仅用平均 配方 B)分别对 同一批次 95 AlO。陶瓷抗拉件进 强度作为材料的强度指标 ，还需要知道其分散规律 ， 行金属化 ，金属化并 电镀后 ，两抗拉件之 间直接对 即从统计的角度来考虑强度的可靠性。 封 ，如图 1所示 ；用德国ZDM10T／51型万能材料试 陶瓷材料断裂强度的大小与测试的有效体积有 验机 ，按照 SJ／T3326—2001的方法_7]，测试这两个配 关 ，其分散性一般认为可用 Weibul1分布来描述 ，并 可用最弱链理论予 以解释 ，大量的实验数据也说明 方组抗拉件的抗拉强度 ，测试时加载速率为 6ram／ 了陶瓷材料 的断裂强度服从 Weibul1分布 ]。国 rain，断裂方式为粘瓷断裂 ，测试结果如图 2所示 。 内外有许多文献报道 了陶瓷材料强度的Weibul1分 1．1 两参数 Weibul1分布函数分析 布研究，