不同醇类对单晶硅绒面特性的影响.pdfVIP

· 10 · 材料导报 B：研究篇 2011年 1月(下)第 25卷第 1期 不同醇类对单晶硅绒面特性的影响 屈 盛 ，张兴旺。，毛和璜 ，余银祥 ，韩增华 ，汤叶华 ，周春兰。，王文静。 (1 欧贝黎新能源科技股份有限公司，南通 226611；2 中国科学院半导体研究所，北京 100083； 3 中国科学院电工研究所 ，北京 100190) 摘要 在单晶硅太阳电池的绒面制作过程中分别采用一元醇(乙醇、异丙醇)和二元醇(乙二醇、丙二醇)作为 添加剂，比较它们对单晶硅绒面特性的影响。实验表 明，一元醇可以降低化学反应速率，而二元醇可以加快反应速 率，缩短制绒时间。二元醇相比一元醇具有更高的沸点，在制绒过程中挥发更少，可以减少药品的损耗，降低成本，然 而二元醇的消泡效果比一元醇差，制绒时需要采用更大的初始浓度。扫描 电子显微镜(SEM)结果表明，一元醇趋向 于使绒面金字塔更均匀，而二元醇则容易导致绒面金字塔不均匀。反射谱的测试结果表明，采用二元醇作为添加剂 进行制绒，相 比一元醇，可以获得更低的硅片表面反射率。 关键词 晶体硅太阳电池 制绒 一元醇 二元醇 EffectsofDifferentAlcoholsonTexturePropertiesofM onocrystallineSilicon QU Sheng，ZHANGXingwang。，MAOHehuang，YU Yinxiang，HAN Zenghua， TANGYehua，ZHOU Chunlan。，WANGWenjing。 (1 EopllyNewEnergyTechnologyCo．Ltd．，Nantong226611；2 InstituteofSemiconductor，CAS，Beijing100083； 3 InstituteofElectricalEngineering，CAS，Beijing100190) Abstract Monohydroxyalcohols(ethanolandisopropano1)anddihydroxyalcoho1s(ethanediolandpropanedio1) wereusedasadditivesduringmonocrystallinesiliconwaferstexturing，andtheireffectsontexturingwereinvestiga— ted．Experimentalresultsshow that，monohydroxyalcohols(MA)reducereactiverate，whiledihydroxyalcohols(DA) increasereactiverate，resultinginreducedtexturingtime．AndDA lessvolatilizeduetotheirhigherboilingpoint，re— suitinginreducedchemicalconsumptionandlowercost，however，theirabilitiesremovingthehydrogenbubbleaway from siliconwafersurfaceareweakerthanMA．thereforehigherinitialconcentrationareindispensableduringtextu— ring．Scanningelectronmicroscopy(SEM)resultsindicatethatMA trendstomakepyramidsmoreuniform，whileDA 1eadstOmorenon-unifotinpyramids．ReflectivitymeasurementsindicatethatDA leadstOlowerwafersurfacereflec— tivitythanM Keywords crystallinesiliconsolarcells，texture，monohydroxya