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粗糙度，表面粗糙度，国家标准，主要术语及定义 类别：行业知识 ? 发布时间：2008-1-25?阅读：1893 ? 主要术语及定义 (1)取样长度l 取样长度是用于判断和测量表面粗糙度时所规定的一段基准线长度，它在轮廓总的走向上取样。 (2)评定长度Ln 由于加工表面有着不同程度的不均匀性，为了充分合理地反映某一表面的粗糙度特性，规定在评定时所必须的一段表面长度，它包括一个或数个取样长度，称为评定长度Ln。 (3)轮廓中线m 轮廓中线m是评定表面粗糙度数值的基准线。 评定参数及数值 国家规定表面粗糙度的参数由高度参数、间距参数和综合参数组成。 高度参数共有三个： (1)轮廓算术平均偏差Ra 在取样长度l内，轮廓偏距绝对值的算术平均值。 (2)微观不平度十点高度Rz 在取样长度内最大的轮廓峰高的平均值与五个最大的轮廓谷深的平均值之和。 (3)轮廓最大高度Ry 在取样长度内，轮廓峰顶线和轮廓谷底线之间的距离。 间距参数共有两个： (4)轮廓单峰平均间距S 两相邻轮廓单峰的最高点在中线上的投影长度Si，称为轮廓单峰间距，在取样长度内，轮廓单峰间距的平均值，就是轮廓单峰平均间距。 (5)轮廓微观不平度的平均间距Sm 含有一个轮廓峰和相邻轮廓谷的一段中线长度Smi，称轮廓微观不平间距。 综合参数 (6)轮廓支承长度率tp 轮廓支承长度率就是轮廓支承长度np与取样长度l之比。 粗糙度代号及标注 表面粗糙度的代号见下表和图 表面粗糙度的测量 表面粗糙度的测量方法有下述四种： (1)比较法 比较法是车间常用的方法。将被测表面对照粗糙度样板，用肉眼判断或借助于放大镜、比较显微镜比较；也可用手摸，指甲划动的感觉来判断被加工表面的粗糙度。此法一般用于粗糙度参数较大的近似评定。 (2)光切法 光切法是利用光切原理来测量表面粗糙度。 (3)干涉法 干涉法是利用光波干涉原理来测量表面粗糙度。 (4)针描法 针描法是利用触针直接在被测表面上轻轻划过，从而测出表面粗糙度的Ra值。 标准编号:GB/T 6060.3-2008 标准名称:表面粗糙度比较样块 第3部分：电火花、抛（喷）丸、喷砂、研磨、锉、抛光加工表面 标准状态:未实施 英文标题:Surface roughness comparison specimen － Part 3：Spark-eroded，shot-blasted，grit-blasted，lapped，filed and polished surface 实施日期:2008-8-1 颁布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 内容简介:GB／T6060的本部分规定了电火花、抛（喷）丸、喷砂、研磨、锉、抛光加工表面粗糙度比较样块的术语 和定义、制造方法、表面特征、表面粗糙度参数值、表面粗糙度的评定、结构尺寸、加工纹理、标志与包装等。 本部分适用于电火花、抛（喷）丸、喷砂、研磨、锉、抛光加工表面粗糙度比较样块。该比较样块通过 触觉和视觉与同其所表征的材质和加工方法相同的被测件表面作比较，以确定被测件表面粗糙度参数 值的表面粗糙度比较样块（以下简称“比较样块”）。 1 引言 纳米技术是20世纪80年代发展起来的高新科技。近年来,随着纳米技术的飞速发展,对各种纳米器 件表面精度的要求也越来越高,如在半导体掩膜、磁盘、宇宙空间用光学镜片、环形激光陀螺等中,均已提 出表面粗糙度的均方根小于1nm的要求。要实现这么高精度的非常光滑表面,测量仪器的分辨力首先要 达到纳米量级。然而,目前的表面粗糙度测量仪,如:自聚焦测量仪,虽然Z向分辨力可以达到小于5nm, 但是X-Y向分辨力却只有1μm[1],不能满足纳米尺度形貌研究的要求,于是迫切要求找到一种在X、Y、Z 三个方向的分辨力均能达到纳米量级的表面粗糙度测量方法。以扫描隧道显微镜(STM)与原子力显微镜 (AFM)为代表的扫描探针显微镜(SPM)技术,由于其超高分辨力,完全能满足这种微小尺寸的测量要求。 其中AFM 由于测量不受样品导电性的限制,应用范围更广。AFM 的扫描过程是由压电陶瓷驱动样品移 动的,由于压电陶瓷的伸缩变形量非常微小,一般而言,控制电压每改变1V,伸缩量仅改变几个纳米[2],因 此,AFM 能够很好地满足纳米尺度形貌研究的要求。本文首先详细阐述了表面粗糙度及其主要评定参数 第25卷第4期 2003年8月 光学仪器 OPTICALINSTRUMENTS Vol.25,No.4 August,2003 * 收稿日期:2002-02-23 作者简介:陈英飞(1977-),女,浙江临海人,浙江大学硕士研究生,从事原子力显