高精度空气静压转台优化设计.pdfVIP

机械设计与制造 第5期 230 Machinery Design Manufacture 2014年5月 高精度空气静压转台优化设计 夏 欢，陶继忠，吴定柱 (中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 ，四川 绵阳 621900) 摘 要：在分析空气静压轴承工作原理的基础上，通过理论分析及计算确定了空气静压转台的尺寸，并设计 了空气静压 转台。为了提高空气静压转台的静态性能，分别研究了其结构参数中的节流孔分布为双排8孔和 12孔两种情况；节流孔 孔径为0．1mm、0．15ram和0．2mm三种情况；节流孔距端面距离10ram和 15mm两种情况。通过分析结果确定其结构参数 中节流孔分布双排 12孔、节流孔孔径为O．1mm、节流孔距端面距离15ram，再配合适-3的气膜间隙，有助于提高空气静压 转台的承栽力和刚度，消除加工装配误差的影响。 关键词：空气静压转台；静态性能；数值仿真；结构优化 中图分类号：TH16；V233．4+5 文献标识码：A 文章编号：1001—3997(2014)05—0230—03 OptimalDesignofHighPrecisionAerostaticSwivelTable XIA Huan，TAOJi-zhong，WUDing—zhu (InstituteofMechanicalManufacturingTechnology，ChinaAcademyofEngineeringPhysics，SichuanMianyang 621900， China) Abstract：Anaerostatieswiveltablehadbeendesignedaccording theanalysisofprinciplesofaerostaticbearings．The dimensionsoftheaerostaticswiveltbalehadbeendeterminedfromtheoreticalcalculationandanalysis．Severalparameters wereinvestigatedwithsinglefactoranalyssirespectively，whichraeorfiicedsitributionwithdoublerow-8orfiicesanddouble row一12orifices；orfciiediameterswithO．1mmand0．2ram；nadthedsitancefomr orfciiestoendfacewas10ramand15ram． Baseontheanalysisresults，onesetofdesignparametersweredetermined，whcihraedoubelrow-12fororifwedsitribution， 0．1mmfororifciediameter，15mmforthedsitancefromorifciestotheendface，andwithna ~ivenappropriatesupply pressure． 砒 thsistructure，theloadcpaacityandstiffnessoftheaerostatciswvieltabelwereenhnaced，andtheeffectofthe errorinmachiningnadassemblywereeliminated KeyW ords：AerostaticSwivelTable；StaticPerformance；NumericalSimulation；StructuralOptimization 1引言 气压力， 为浅腔出13处气膜压力， 为环境压力，R 为节流器