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第4章 来料检验 习题（高级）一、填空题1、目前坩埚检测就是检测其_______________、_______________和_______________，其中顶部宽和高度使用_______________进行测量，壁厚利用_______________进行测量。2、碳化硅主要利用贝克曼和马尔文对其_______________分布和_______________进行检测，其颗粒度分布要求参照公司相关标准。3、按照公司切割液的相关标准需要检测的项目包括密度、_______________、_______________、PH值、_______________、_______________。4、钢线的直径可以利用_______________进行检测，万能材料试验机可以检测钢线的_______________、抗拉强度、断后伸长率、_______________等。5、电感耦合等离子体质谱仪的检出限为_______________级，电感耦合等离子体发射光谱仪的检出限为_______________级。6、激光线径仪测量采用了光的_______________现象；水分仪的工作原理为_______________。7、电导率仪的测量原理是将两块平行的极板，放倒被测溶液中，在极板的两端加上一定的电势，然后测量极板间流过的_______________。8、抽检方法：具体按GB/T2828.1-2003标准进行检验，样品性能检验按特殊检验水平S-2抽检执行，AQL=____________。外观检验按一般检验水平Ⅱ抽检执行，AQL=_____________。9、贝克曼库尔特颗粒度仪的测量范围是_______________；流动型直方图分析仪的测量范围是_______________。10、轮廓仪可以检测开方和切片用导轮的_______________、开槽深度、_______________。二、判断题1、质量检验的只能就是鉴别、把关、报告、记录。 （ ）2、全检就是全数检查。 （ ）3、抽检就是抽样检查。 （ ）4、ABC管理法通常也叫重点管理法。 （ ）5、一组数据是否是常态分布可否计算Cpk没有因果关系。 （ ）6、检料检验的抽样标准时采用的GB2828。 （ ）7、抽样接收水准是指AQL。 （ ）8、质量就是质量部门的质量。 （ ）9、质量异常时就交领导分析解决。 （ ）10、品质成本包括鉴定成本，预防成本，失败成本和运营成本。 （ ）三、简答题1、简述各种异常多晶硅料及其形成原因。2、简述电感耦合等离子体质谱仪和电感耦合等离子体发射光谱仪工作原理。3、简述激光线径仪工作原理。4、画出来料检验流程图，并作简要介绍。5、简述个人对于IQC工作的认识。6、谈谈个人对于如何提高来料合格率的看法。附部分答案：一、填空题1、顶部宽； 壁厚 ；外部高度 ；卷尺； 游标卡尺。 2、粒径 ；粒型。 3、粘度；水分含量； 电导率； 折光率。 4、激光线径仪 ；破断拉力 ；弹性模量 。 5、ppt ；ppb。 6、衍射； 卡尔-费休库伦法。 7、电流。 8、2.5 ；1.0 。 9、2-60μm；0.5-200μm 。 10、槽距 ；开槽角度。二、判断题1-5 √√√√×6-10 √××××三、简答题1、（1）表面变色：为多晶硅表面颜色有一定差异，某些部位颜色呈现深灰色。 （2）夹层：可以分为温度夹层和氧化夹层。硅多晶横断面上晶粒呈枝蔓状或径向辐射生长，但有时可以观察到以硅芯为中心的年轮状结构，成为温度圈。它是由于结晶致密度、晶粒大小不同或颜色的差异而形成。严重的温度圈易形成疏松的夹层。温度夹层形成的原因是氢还原或热分解反应过程中，较大幅度的温度波动，使硅棒表面气相沉积速率不同所致。氧化夹层与温度圈类似，呈同心圆层状结构，并以氧化硅为界限。由于氧化程度的不同，氧化硅的颜色可能呈灰白色、棕黄色或深褐色等。氧化夹层形成的原因是反应气体或反应系统中，残留有较多的水分和空气，高温下发生氧化反应，生成的氧化硅附着于硅棒表面，随后在被氧化的表面上继续生长硅多晶，形成了氧化夹层。（3）硅芯脱落：为硅芯同生长层未能融合生长，有分层现象，容易剥落。硅芯表面不洁净，清洗或者安装过程有污染。此外，硅芯表面温度低就开始沉积生长，生成的是无定形硅（氧化硅）。严重的形成疏松夹层，在其内部容易存在携带杂质，给多晶硅锭制备前多晶料的清洁处理带来困难。（4）熔焦：为桥架空洞熔化，桥架截面的下半部分硅熔化流出，产生空洞。连桥夹角处结晶粒粗大，有返熔晶体。熔焦形成的原因为桥架处温度过高，爆米花密集生长，电阻不稳定导致烧熔。夹角处辐射温度过高，气流速度不够，形成局部过热。氢还原或热分解反应过程中，进料不均匀，有较大幅度的温度波动，使硅料表面气相沉积速率不同所致。 （5