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KYKY-EM3200型扫描电子显微镜 目录 一、概述 二、主要用途及适用范围 三、结构特征及工作原理 四、操作规程 五、仪器的日常维护及保养 一、概述 KYKY-EM3200型数字化扫描电子显微镜（简称KYKY-EM3200）是一种研究物体围观结构的大型精密电子光学仪器。同构聚焦电子束在试样表面逐点扫描，接收激发出的物理信号，形成图像。KYKY-EM3200具有以下特点： 1.具有景深大地特点，适用于粗糙的表面和断口的分析观察；图像富有立体感、真实感，易于识别和解释。 2.可以观察大型固体试样的表面结构，试样直径为0~15mm，制样方法及试样预处理工序简单 3.分辨率可达6nm 4.观察倍率范围大，从低倍率十几倍到高倍率十几万倍；对于多相、多组成的非均匀材料，便于低倍下的普通观察和高倍下的精细观察分析。 5.操作简便，经过短期培训，基本都能进行仪器的操作。 6.可以运用电子学方法及计算机技术适当改善图像的质量。例如通过视频处理器调制可改善图像的反差，使图像各部分亮暗适中；通过实时平均虑波，改善图像的信噪比 7.提供更多的图像观察方式，例如采用双放大倍数装置或分割图像选择器，可在荧光屏上同时观察不同放大倍数的图像或不同小信号探测器的图像。 8.根据观察的目的，可增加使用高温、低温和拉伸等样台进行动态试验，观察唉不同条件下的相变及形态变化等。 9.仪器扩充性好，通过加装不同信号探测装置，可进行多种功能的分析。例如安装X射线能谱仪（EDS）可在观察形貌的痛神进行微区成分分析，对样品不同微区的元素成分进行定性、定量分析。 10.操作系统采用Windows XP Professional 操作系统，操作界面友好、简洁、直观，用户易于掌握；图像可同屏幕显示，可分挡缩放，图像分辨率为1024*768*24；外设采用USB2.0标准通讯借口，支持热插拔。 二、主要用途及适用范围 扫描电镜可应用于陶瓷材料分析、金属材料失效，在石油、地质、矿物领域，或者电子、半导体领域，医学、生物学领域，或者化工、高分子材料领域，或者公安刑侦工作领域，以及农、林业等方面。 扫描电镜可进行显微形貌分析，也可进行成分的常规微区分析，包括元素定量、定性成分分析。进行显微形貌分析时，空间分辨率可达亚微米级，能够进行晶界的状态测量。或者晶体/晶粒的相鉴定，以及晶体、晶粒取向测量等；进行微区成分析时，能够通过快速的多元素面扫描和线扫描进行分布测量。 三、结构特征及工作原理 KYKY-EM3200总体结构 KYKY-EM3200将具有一定能量的电子束与样品相互作用，激发出物理信号。其主要包括电子光学镜筒、样品室、真空系统和电器柜控制等部分。 1.电子光学镜筒 KYKY-EM3200电子光学镜筒能够产生和聚焦电子书，最后形成一个直径很小的束斑打在样品上。电子光学镜筒有电子枪、电磁对中系统、双聚光镜、镜筒隔断阀、物镜、扫描线圈组件、消像散器、电子探测装置等组成。 2.电子枪 电子枪是一个微小的高亮度电子源，为自给式偏压三极结构。灯丝尖、栅帽孔中心和阳极孔中心同轴，以达到电子枪的最高亮度。 3.电子束的电磁对中（电对中）系统 在日常工作中，机械对中并不能保证电子严格对中，故常常使用电磁对中系统进行电对中校正，以确保电子束于光路中心轴线重合。 4.双聚光镜 电子光学镜筒包括两个聚光镜完全一样的聚光镜。两个聚光镜的极靴在同一个圆柱体上，总用一组激励线包。 5.镜筒隔断阀 镜筒隔断阀是一个手动操作的真空阀门，安排在聚光镜和物镜中间。使用这个阀门可以隔断镜筒和样品室。 6.物镜 物镜是非对称透镜，具有长的工作距离、低的球差系数和小的漏磁。物镜光阑安装架可以装入三个光阑，光阑直径通常是100um或者200um物镜光阑能够影响焦深、分辨率、电子束流。 7.消像散器 消像散器安装在扫描线圈组件内，能方便快捷的校正像散。 真 空 系 统 真空系统主要包括扩散泵、机械泵、冷阱 、水冷当板、连接管道、减震装置、各种阀门、前 级罐以及各种测量规管等，具体说明如下： 1.扩散泵：用于抽系统高真空。 2.机械泵：用于抽系统低真空及扩散泵前级真空。 3.水冷挡板：水挡板用来提高系统真空度及减少扩散泵油污染。 4.连接管道：用于各真空部件之间的连接。 5.各种阀门：用于真空控制， 6.前级罐：在V2是关闭时可以维持较长时间的底真空状态，以保证扩散泵正常的工作 7.真空测量规管：实时测量真空，配合阀门实现真空控制。 8.空压机：空压机为各个气动阀门提供动力。 四、操作规程 1.系统的开关机 开机 1.自动方式 （1）将真空