核壳结构PSCeO2复合微球的制备及其在化学机械抛光中的应用.pdfVIP

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2015-09-16 发布于湖北
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核壳结构PSCeO2复合微球的制备及其在化学机械抛光中的应用.pdf

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核壳结构PSCeO2复合微球的制备及其在化学机械抛光中的应用.pdf

第27卷第1期无机化学学报 V01．27No．1 201 1年1月 CHINESEJOURNALOFINORGANICCHEMISTRY 66．72 核壳结构PS／Ce02复合微球的制备及其在化学机械抛光中的应用陈杨1 陆锦霞1 陈志刚★’2 (常州大学材料科学与工程学院，常州 213164) (苏州科技学院化学与生物工程学院，苏州 215011) 摘要：以原位化学沉淀的方法制备了不同粒径、包覆结构PS(核)／CeO：(壳)复合微球，利用x射线衍射仪，透射电子显微镜、选区电子衍射、场发射扫描电子显微镜、能谱分析仪、Fourier转换红外光谱仪、热失重分析仪和f电位测定仪等手段对所制备样品的微观结构进行了表征。将所制备的复合微球用做磨料，考察其对■氧化硅介质层的抛光性能．用原子力显微镜观察和测量抛光表面的微观形貌、轮廓曲线和粗糙度。结果表明。所制备的P：s／ce0：复合微球具有核壳包覆结构．粒径分别约为140，180和 220 nm，Ps内核被粒径约为5 nm的CeO：颗粒均匀包覆。AFM结果显示，复合磨料的粒径越小．抛光后表面粗糙度越低；且酸性(pH=3)比碱性(pH=10)抛光浆料具有更好的抛光效果。关键词：PS／Ce02复合微球；核壳结构；磨料；化学机械抛光中图分类号：TB383：0614．33+2文献标识码：A 文章编号：1001-4861(2011)01—0066．07 of Ce02-Shell andTheir PreparationCompositePolystyrene-CoreMicrospheres in theOxideChemicalMechanical Application Polishing CHEN LUJin-XialCHEN Yan91 Zhi—Gang+’2 Scienceand (1SchoolofMaterials 213164,China) Engineering,Chang：houUniversity,Chan@hou,Jiangsu and and Science 21501 (DepartmentofChemistryBioengineering,SuzhouUnivers毋of Technology,Suzhou,Jiangsu1，China) withdifferent sizehadbeen Abstract：Compositepolystyrene-coreCeOrshell(PS／Ce02)microspheresparticle in—situchemical PS／Ce02 synthesizedby precipitationtechnique。Theas—synthesizedcompositemicrospheres werecharacterized of electron samples bytechniquesX-raydiffraction(XRD)，transmission selectedarea