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Ba_1_x_Sr_xTiO_3热释电梯度厚膜的制备和介电性能研究.pdf
323 Vol. 32 No.3 20106 PIEZOELECTRICS ACOUSTOOPT ICS June 2010 :1004-2474(2010) 03-0429-04 Ba Sr TiO 1- x x 3 1,2 1 1 1 2 范茂彦 , 姜胜林 , 谢甜甜, 张光祖, 张丽芳 ( 1. , 430074;2. , 653100) :( BST) , , -(So-l Gel) Pt/ Ti/ SiO / Si n 6 BST , 5LmBST 2 X-(XRD), 750 e , ( SE ), , , , BST , - 2 920, 1.8@ 10 :-( So-l Gel) ; n ; (BST); ; :TG142. 2 : A Fabricationof Gradient ThickFilmandStudyonDielectric Propertyof Pyroelectric Ba Sr TiO 1- x x 3 1,2 1 1 1 2 FAN aoyan , JIANGShenglin , XIETiantian , ZHANGGuangzu , ZHANGLifang ( 1. Dept. of Electronic Science and Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China; 2. School of Information Technology and Engineering,Yuxi Normal University, Yuxi 653100, China) Abstract: The multilayer BST thick film with composition gradient is becoming theimportant alternative mate- rial for the infrared detector and microwave modulator due to its good comprehensive dielectric properties such as moderatedielectric constant and high dielectric-temperaturecoefficient, etc. In this paper, n-doped BST thick film with six different layers of composition gradients was fabricated in the Pt/ Ti/ SiO / Si silicon chip by improved Sol- 2 Gel method. T hethick film was about 5 Lm thick. Then the micro structure and dielectric property
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