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大电流(直流)冲击试验对-族氮化物异质结深电子态的影响.pdf
第 20 卷第 8 期 半 导 体 学 报 . 20, . 8
V o l N o
1999 年 8 月 CH IN ESE JOU RNAL O F SEM ICONDU CTOR S A ug. , 1999
( )
大电流 直流 冲击试验对 - 族氮
化物异质结深电子态的影响
a a b c
卢励吾 张砚华 . .
Ge W eikun W Y Ho
c c
. .
Charles Su rya K Y Tong
(a 中国科学院半导体材料科学开放实验室 北京 100083)
(b 香港科技大学物理系 香港九龙)
(c 香港理工大学电子工程系 香港九龙)
( ) ( ) ( )
摘要 利用电流电压 、电致发光 和深能级瞬态傅里叶谱 技术研究 族
I V EL DL T FS
( )
氮化物基异质结深电子态. 观察到大电流 直流 冲击引起电流电压和电致发光特性的弛豫.
( )
DL T FS 研究表明, 电流冲击之前, 样品存在一个位于导带下 11eV 处深能级 E 1 , 它具有 2 7
13 - 3 - 14 2 ( )
×10 浓度和 5 ×10 俘获截面. 经电流冲击 77 , 200 和 40 后, 1 浓度为
cm cm K mA m in E
4 21 ×1013 - 3 , 约增加了 2 倍. 实验结果表明 1 浓度的增加与样品 、 特性弛豫是一致
cm E I V EL
的.
PACC: 7155, 7280E , 7360
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