多晶硅太阳电池酸腐蚀绒面技术研究进展.pdfVIP

综 述 多晶硅太阳电池酸腐蚀绒面技术研究进展 1 2 张发云 ，叶建雄 (1.新余高等专科学校太阳能科学与工程系，江西新余338000 ； 2.南昌工程学院机械与动力工程系，江西南昌330099) 摘要：高性价比优势使多晶硅成为光伏市场的主要材料。随着太阳电池向低成本化方向的发展，研究太阳电池多晶硅酸 腐蚀绒面技术有着重要的意义。综述了近年来多晶硅太阳电池酸腐蚀绒面技术的研究进展，着重阐述多晶硅酸腐蚀绒 面形成机制、必威体育精装版的改进工艺及其数值模拟技术，并展望了多晶硅太阳电池酸腐蚀绒面技术的发展前景。 关键词：多晶硅；酸腐蚀；绒面；数值模拟 中图分类号：TM914.4 文献标识码：A 文章编号：1002-087X(2010)03-0307-03 Research progress of acidic texturing technology for multicrystalline silicon solar cells 1 2 ZHANG Fa-yun , YE Jian-xiong ( 1. Department of Solar Energy Science and Engineering, Xinyu College, Xinyu Jiangxi 338000, China; 2.Department of Mechanical and Power Engineering, Nanchang Institute of Technology ，Nanchang Jiangxi 330099, China) siliconsolarcellswasreviewedindetail. 自1954 年实用的太阳电池问世以来，晶体硅太阳电池一 工艺方法要求硅片厚度在200 μm 以上，因为刻槽的深度一般 直在世界光伏市场居统治地位，占太阳电池总产量的80 ％～ 在50 μm 的量级上,所以对硅片的厚度要求很高，而这样的技 90 ％。其中多晶硅太阳电池以其高性价比的优势，得到了迅速 术会增加成本。等离子刻蚀制备出硅片表面陷光效果是非常 的发展，市场占有率已达50% 以上。 好的，但它需要相对复杂的处理工序和昂贵的加工系统。在硅 但是，多晶硅太阳电池的效率总体上没有单晶硅太阳电池 片表面织构的制作过程中，可能会引入机械应力和损伤，在后 的高。这主要是由于两个原因：一方面单晶硅材料本身的有效 处理中形成缺陷。而各向同性酸腐蚀技术可以比较容易地整 少数载流子寿命比多晶硅材料的高；另一方面，单晶硅太阳电 合到当前的太阳电池处理工序中，应用起来基本上是成本最 池表面的陷光效果要优于多晶硅。因此，要减少光的反射提高 低的，在大规模工业化生产中, 各向同性酸腐蚀是目前广泛应 [1-4] 多晶硅电池转换效率，缩小多晶硅与单晶硅太阳电池之间效率 用的多晶硅太阳电池绒面技术 。 上的差距，最常用的工艺方法是在多晶硅表面采用绒面技术。 本文综合论述了近年来多晶硅太阳电池酸腐蚀绒面技术 对于单晶硅来说，采用碱溶液的各向异性腐蚀即可以在 的研究进展，着重阐述多