ＩＴＯ玻璃在线等离子体清洗地研究.pdfVIP

ITO玻璃在线等离子体清洗的研究 吴桂初‘ 王德苗任高潮阵抗生 隘州郧瓿拳院钫理篡滢州32300=3)(浙扛大学位喜与电子工程蒙杭州3t0027) 摘要在沉积ITO(或sIoj)麒之前，透过在线等离子体清洗萋片表面．不但可以获得 优良光电特性的ITO腰．而且提高了膜屡在基片上的附着力．与未经在线等离子体请冼相 比，展层附着力提高了3．5倍．此项成果已在ITO麒遗明导电玻璃连续生产线上得判应用· 关键讽等离子体袁面处理[TO麒附着力 SURFACEOFITOGLASSBYPLASMA STUDYOF ONLINECLEANING WuGuJ．chu ∞单tof聊‘嘎w蜘击叫T‘虻h“。C曲ege,钠mho们2，∞∞ DemiaoRen Chen Wang G∞chao lcⅫ笋h∞g ∞甲Lof删咖n■h矗口吲I口噼I勘豳ef岖皿棚gUniveity,胁舯3l删 Abstract the翱血ce cleaning We珥嘲￡herethe擅鲥驴do地of of翱k血如by她pl蠲D矗online showthatthe ITO妇 g砌optoe,lec仃onic曲口簦嘲幽of before血pa她rro(鱼oz)舳．The糟譬lI扯8 ● ofITO胁onthe删h呲is3．5 with 幢d曲Ⅱe．thecoltesion been inthecontinuous conv枷on=l删dke used d曲曲呜把chnique．The嫱蜥ql墟lI丑BFucc韶8矗nly andconductive prolcfionof响I叩ar∞t ITO岔口s Keywords proc嚣s遍＆ITO五】m孓coh喊on plasme,翱rface 氧化铟锡(tTO)膜导电玻璃由于具有高的可见光透过率和导电睾，而被用作液晶显示 (LcD)等平板显示器的透明导电电极．利用直流或射频磁控反应溅射技术，通过光谱法控制 ITO膜沉积速度llJ，能够获得均匀一瑟的可见光透过翠和导电辜的ITO膜导电玻璃．然而要 生产出高质量的LCD．还要求ITO膜层针孔少，表面无颗粒，膜层粘附力强．如果表面有 颗粒、大面积针孔或粘附力不强而脱落．将会在液晶显示屏上出现暗点或暗斑，严重影响LCD 的质量．用常规清洗烘千处理玻璃基片，很赡彻底清除吸附在表面的异物，又由于在运输、 搬运过程中其表面仍暴露在大气中。难免会吸f}}上环境气体、水汽和徽生。如果不加处理． 会造成膜层与基片结合力不强．产生针孔和颗粒．车文报导通过在线等离子体处理，来清洗 基片上吸附的环境气体、水汽和污物，同时使基片表面活化．增强ITO膜与基片表面的结合 力．