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微电子技术专业
2.1 平衡PN结
2.1.1 PN结的形成与杂质分布
合金法制造PN结
In
In+Ge P-Ge
Xj
N-Ge N-Ge N-Ge
N -N
A D
N N , (x x )
A D j
N N , (x x )
D A j
O xj x
2.1 平衡PN结
扩散法制造PN结
P型杂质
SiO
2 光刻窗口
Xj
P-Si
N-Si N-Si
N-Si
氧化 光刻 扩散
N -N
A D
N A N D j x x j ( )
O xj x
2.1 平衡PN结
离子注入法制造PN结
N -N
A D
P-Si X
j
N-Si
x x
j
O
2.1 平衡PN结
2.1.2 PN结的能带图
平衡PN结的形成
空间电荷区 P 区和N 区接触存在浓度差
P区 N区
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