半导体器件物理 教学配套课件 徐振邦 半导体器件物理(第一章）.pdfVIP

微电子技术专业 1.1 半导体的晶体结构 导体 物质按导电能力分类 绝缘体 半导体 热敏特性 半导体在电性能上的重要性质 掺杂特性 光敏特性 1.1 半导体的晶体结构 1.1.1 晶体的结构 非晶体 1.固体分类 单晶 晶体 多晶 2.晶胞 晶胞是晶体结构中最小的周期性重复的单元。晶胞 的边长称为晶格常数，通常用a表示。 1.1 半导体的晶体结构 3. 几种常见的晶格结构 a a a 简单立方 面心立方 体心立方 1.1 半导体的晶体结构 在器件和集成电路制造中使用的一些重要的半导体具 有属于四面体的金刚石或闪锌矿结构。 1.1 半导体的晶体结构 1.1.2 晶面与晶向 1.晶向 晶列的取向称为晶向，为表示晶向，从一个格点O沿某 个晶向到另一格点P作位移矢量R ，则 R=l a+l b+l c 1 2 3 若l ：l ：l 不是互质的，则要通过l ：l ：l = m：n：p 1 2 3 1 2 3 化为互质整数，mnp 就称为晶列指数，写作[mnp]，用来 表示某个晶向。 1.1 半导体的晶体结构 2.晶面： 晶格中的所有格点也可看成全部位于一系列相互平行 等距的平面系上，这样的平面系称为晶面族，通常我们用 晶面指数（也称为密勒指数）来表示晶面的不同取向。 Z Z a a Y Y X X 1.1 半导体的晶体结构 3.密勒指数计算 （1）首先确定该晶面在晶轴上的三个截距，并以晶格常数为 单位表示截距值。 （2）然后取截距的倒数，并约简为3个没有公约数的整数，即 将其化简成最简单的整数比。 （3）最后将此结果以“ (hkl)”表示，即为此平面的密勒指数。 【例】如图的平面，试求其密勒指数 z 2a 0 3a