廢水系統改善工程.pdfVIP

毫 微 米 通 訊 廢水系統改善工程 楊偉智、吳世全 國家毫微米元件實驗室 理合格後的廢水則依既設管線排放至科學園 前言 區管理局之污水處理廠進行二級處理。 廢水處理系統正如同生物體內的排毒去 為能因應日益擴增的實驗室能量，廢水 廢一般，非常重要卻不討人喜歡，且只要一 系統必須經過一系列徹底的改善及調整。本 出錯，準會令人混身不對勁；因此就高科技 文即為此系列改善的記述，希冀藉此提供廢 高產質半導體工業而言，廢水處理更是不可 水處理系統改善的依據，也順勢呈現改善後 或缺，且忙碌非常，除了保持製程的暢通 功能提升及成本下降的結果。 外，更需達到合格的排放標準。然而在大量 本文將分為五部份，首先為系統介紹， 高酸鹼污染物廢水處理過程中，我們如何能 而後乃問題的挖掘，再來為系統改善之內 確保其符合排放標準，又能降低運作成本， 容，接續為改善後之結果及比較，最後是結 乃為每家廠商重要的營運策略。否則一旦造 論與建議。 成工安事件後，罰款、停機、關廠及甚大的 商譽損失，必然接踵而至。 一、系統介紹 至於本實驗室之廢水處理在依循原建廠 設計的運作下，目前仍只就不含重金屬的無 實驗室廢水排放乃依其性質，特性的不 機廢液進行處理，有機廢液及含重金屬之無 同及科學園區管理局的放流水標準，採用了 機廢液皆採委外回收之處理方式。其中經處 不同的處理方式 ( 圖一) ；而所處理的廢液 第 九 卷 第 一 圖一　廢水處理流程示意簡圖。 期 42 毫 微 米 通 訊 為： 此項廢水為實驗室製程廢水之最大產生 ( 1 ) 含氟酸廢液之製程廢水，又稱為氟酸廢 項目，其來源有硫酸、雙氧水、磷酸、氨 水。 水、鹽酸等；經製程使用後依既設管路排放 ( 2 ) 不含氟酸廢液之製程廢水，又稱為酸鹼廢 至廢水處理廠時，其初始濃度多保持在 水。 p H 2 ~ 4之間。 ( 3 ) 其它廠務系統所產生之廢水，又稱為一般 此類廢水皆進入一個 1 8噸前置池先行混 廢水。