基于双悬臂梁结构的光纤加速度传感器.pdfVIP

· 光电子 激光 第 卷第 期 年 月 · ２３ ４ ２０１２ ４ Ｖｏｌ．２３Ｎｏ．４ Ａ ｒｉｌ２０１２ 　　　　　　 　 　 ｐ 　 　　　　　　 ＪｏｕｒｎａｌｏｆＯ ｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｌａｓｅｒ 　 　 ｐ 基于双悬臂梁结构的光纤加速度传感器 ， ＊ １２ １ ２ ２ ， ， ， 侯跃峰 路智敏 张文涛 李 芳 　 （ ， ； ， 内蒙古工业大学化工学院 内蒙古呼和浩特 中国科学院半导体研究所光电系统实验室 北京 １． ０１００５１ ２． ） １０００８３ ： ， 摘要 为消除悬臂梁结构加速度传感器由于光纤表面粘贴产生的啁啾现象 增强横向抗干扰能 ， ， 。 ， 力 提高共振频率 提出了一种基于双悬臂梁结构的光纤加速度传感器 给出了理论分析结果 ， ， 建立了有限元模型 得到了加速度灵敏度表达式 并且探讨了在共振频率不变的情况下提高加速 。 ， ， ／ ， 度灵敏度的方法 实验结果表明 该传感器在 内频响平坦 加速度灵敏度为 抗 ６ ５０ Ｈｚ １４ ｍ ～ ｐ ｇ ， 。 横向干扰能力达２０ｄＢ 与理论计算较好地吻合 ： ； ； ； ； ； （ ） 关键词 光纤传感 悬臂梁 光纤激光器 加速度 传感器 有限元分析 ＦＥＡ 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＨ７０２ Ａ １００５００８６２０１２０４０６４４０５ 　　 　 　 － － － Ｆｉｂｅｒａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｂａｓｅｄｏｎｄｏｕｂｌｅｃａｎｔｉｌｅｖｅｒｓｔｒｕｃｔｕｒｅ 　 　 　 　 － 　 ， １２ １ ２ ２