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第 3 1 卷 第 5 期 计 算 机 学 报 Vol . 3 1 No . 5
2008 年 5 月 C H IN ESE J OU RN AL O F COM PU T ER S May 2008
基于元胞自动机算法的三维玻璃微流控芯片
湿法刻蚀模拟研究
1) 2) 3)
杜立群 李 璞 刘军山
1) (大连理工大学教育部精密与特种加工技术重点实验室 辽宁 大连 116023)
2) (大连理工大学创新实验学院 辽宁 大连 116023)
3) (大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室 辽宁 大连 116023)
(
摘 要 以二维动态元胞自动机理论为基础 ,提出一种针对玻璃各向同性刻蚀特性的三维动态元胞 自动机 Cellular
automat a) 算法. 利用创建刻蚀链表的方式代替传统的元胞有哪些信誉好的足球投注网站 ,提高了算法效率 ,并通过改进元胞信息的存储方
式 ,使得三维元胞阵列得以存储于二维矩阵中. 最后利用 Op en GL 技术对刻蚀结果进行三维成像. 该算法在个人计
( )
算机上实现了较高分辨率 4000 ×4000 像素 的三维刻蚀模拟与显示. 通过对比玻璃刻蚀的实验结果和前人的研究
评估模型 ,模拟结果完全能够实现对刻蚀结果的预测. 文中的研究表明:建立的三维元胞 自动机算法可以有效地应
用于玻璃刻蚀过程的模拟.
关键词 玻璃芯片 ;湿法刻蚀 ;元胞自动机 ;Op en GL 三维成像 ;计算机模拟
中图法分类号 TP39 1
Simulation on 3D Glass Isotropic Chemical Etching Process f or
Microfl udic Chip Based on Cell ular Automata Model
DU LiQun1) L I Pu2) L IU J unShan3)
)
1 ( Key L aboratory f or P recis ion N ont ra d it ional M achi ni ng Technology of M i nis t ry of E d ucat ion ,
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