MEMS麦克风芯片级技术原理专利分析.pdfVIP

CHINASCIENCEANDTECHNOLOGYINFORMATIONDec.2023·中国科技信息2023年第23期专利分析◎

MEMS麦克风芯片级技术原理专利分析

高 雅 叶 会 薛文婷

在MEMS麦克风领域，麦克风芯片按照工作原理可以

影响力可替代度分为电容式、压电式以及新型结构。其中电容式MEMS麦

克风通常由一片极薄的敏感膜（通常称为振膜）和一个带电

极板（通常称为背板）构成电容结构，其通过敏感膜和极板

间的电容变化来探测声音振动造成的敏感膜的偏移，实现声

波信号转换为电信号。压电式MEMS麦克风则是以压电材

料的压电效应作为换能机理，当声波对麦克风中的压电薄膜

产生压力时，压电薄膜的电阻发生变化，从而产生电信号。

而新型MEMS麦克风可以是单芯片结构中结合了压电式和

电容式原理，既包含电极板和振膜，又包含压电材料，压电

开放度材料的设置方式和设置位置各有不同。或者新型MEMS麦

行业关联度克风也可以是单芯片中集成了MEMS麦克风和其他传感器，

例如压力传感器等结构。

生态度创新度

本文对MEMS麦克风芯片级技术原理的相关专利进行

统计分析，以中国专利全文数据库（CNTXT）、外国专利

全文中文翻译数据库（ENTXTC）、英文逻辑整合数据库

（VEN）、外国专利全文数据库（ENTXT）为专利数据来源，

检索量持续度检索数据截止日期为2023年7月3日，共检索获取到微机

行业曲线

电麦克风结构相关专利（族）6956项。基于上述检索结果，

本文对微机电麦克风结构的技术分支、技术演进路线和重点

专利进行了分析，为该项技术的进一步发展提供参考。

MEMS麦克风芯片级技术原理技术分支

高雅叶会（等同第一作者）薛文婷（等同第一作者）将MEMS麦克风芯片按照工作原理分为电容式、压电

国家知识产权局专利局专利审查协作四川中心

式以及新型结构，通过分析三种技术分支的全球专利申请量

高雅（1990—），硕士研究生，知识产权师，研究方向：

通信领域专利审查和分析；的对比情况，电容式MEMS麦克风的申请量为总申请量的

叶会（1989