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NCVM技术宝典PPT讲座;目錄;一.NCVM介紹;1-1.NCVM產品;1-2.VM的基本原理;1-3.真空镀膜方法比较;1-4.NCVM制程的基本流程;1-5.VM使用材料;1-6.NCVM的用途;二.NCVM鍍膜技術要點;1.NCVM鍍膜設備介紹;VM設備主要組成系統:

A)真空系統

B)加熱系統

C)動力系統;A)真空系統

真空系统是由真空泵、真空测量装置、真空阀门、连接导管以及捕集器、除尘器、真空继电器规头等元件，经过精心组装而成的。它能在人们所期望的时间内将被抽容器内的压力降低到所要求的真空度。;B)加熱系統

加熱系統的主要功能就是利用電阻絲加熱,將欲鍍物質加熱,達到蒸發(或直接由固體升華為氣體)﹐從而達到使原子或分子飛向并沉積在工件表面的目的.;客戶;對MOTO產品建立NCVM測試方法與系統的流程:;對測試測試人

員做GRR;2.StudScanner測試儀:;對NOKIA產品建立NCVM測試方法與系統的流程:;對測試人

員做GRR;3.VMChamber均勻性:;1.電極棒位置:

1.佈局整爐的電極棒

原則:電極棒組數不可大于10組

各組電極棒與最近上下兩個產品正面的距離相差不遠

2.用薄片進行驗證

原則:耙材量不宜過大(建議用L=1.0cm的耙材)

3.檢查整個薄片的鍍膜狀況,找出薄片異常點對應的電極棒,對電極棒進行微調(或上移或下移)

4.最上層和最底層電極棒用於解決產品頂部和底部的均勻性,一般為加長的電極棒;2.耙材量:

在調電極棒位置能將VMChamber均勻性調好的情況下,一般不建議來通過調整耙材量來解決均勻性的問題.

一般來說,若爐內各層產品正面外觀一致,只是上層和底層產品的頂部或底部出現明顯薄鍍時,我們可以通過增加最上層和最下層的電極棒的耙材量(注意:增加耙材量的同時,要確保非導測試OK);3.轉速:

當整爐產品出現相臨若干列同時出現薄鍍或非導測試NG時,可以試著改變轉速來解決此問題.

調轉速原則:產品在設定轉速下轉動一周所耗時間是耙材蒸發時間的整數倍.;4.爐內氣流(方向大小):

1.未通入惰性氣體的情況下,在抽真空時注意真空度的變化,若高真空時出現真空度忽高忽低的情況,且抽真空很難完成,則需檢查爐體各閥門和爐門的氣密性;

2.有通??惰性氣體的情況下,注意氣體流量計的數值變化,出現不穩定情況,需檢查供氣瓶及其管道,閥門等.;4.VMChamber穩定性;1.耙材的質量:

1.耙材的儲存條件:

(1)溫度﹕5~35℃

(2)濕度﹕30~60%RH

2.耙材的儲存:

(1)包裝方式﹕

用前﹐用后必須用真空袋真空密封好

(2)使用順序﹕

依先進先出之原則

3.耙材的純度:

各種耙材的純度在進料檢驗時必須優于99.99%;2.耙材的重量:

1.耙材的重量管控

;2.耙材的重量:

2.耙材預備流程:;3.耙材的殘留:

耙材殘留的主要原因:

耙材蒸發不完全,造成耙材殘留于鎢絲或滴落爐底

可以採取的措施:

1.檢查鎢絲鎢絲狀況(是否變形,固定螺絲的鬆緊度)

2.檢查外部電壓有無變化

3.檢查蒸鍍各段耙材的變化情況

原則:預熱---鎢絲變紅,耙材無變化

熔解---耙材完全熔解且全部趴在鎢絲上且不能有耙材滴落

蒸發---耙材完全蒸發

4.空鍍;4.爐體的清潔:

爐體的清潔至關重要,必須嚴格按照SOP作業,但仍需注意以下:

1.每班生產前要空鍍一爐;

2.每爐生產完畢要用無塵紙將爐底擦乾淨並用工業吸塵器吸乾淨,保證爐底無耙材顆粒和其他雜誌

3.每爐生產前須檢查真空膠圈,不能有雜質且真空膠圈要保持溼潤.;5.設備運轉狀況:

1.日常維護:

1.檢查冷卻水循環是否正常,各分流水管是否有水流.

2.清潔桶身上的大膠圈.

3.清潔桶門法蘭面.

4.簡單的清潔桶內.

5.油回轉泵洩水一次.

6.Polycold裝置則須除霜一次.