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摘要
摘要
压电半导体材料是一种兼具压电和半导体特性的先进功能材料,在电子器
件、传感、能量转换等领域具有广泛的应用前景。这些应用与压电半导体层合
结构中表面波的传播特性密切相关,并且声电效应和声电放大效应显著影响着
其中弹性波的波动响应。因此,本文针对压电半导体薄膜/弹性介电薄膜/弹性
介电半空间中的Love波和Rayleigh波进行了研究,探讨了压电性、半导体特
性和薄膜厚度等参数对其中表面波传播行为的影响规律。研究结
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